[实用新型]一种单晶硅棒套圆治具有效
| 申请号: | 202120745887.2 | 申请日: | 2021-04-13 |
| 公开(公告)号: | CN216503902U | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
| 发明(设计)人: | 姚亚君 | 申请(专利权)人: | 科莱思半导体智造(浙江)有限公司 |
| 主分类号: | B24B5/50 | 分类号: | B24B5/50;B24B5/35;B24B55/02;B24B55/00 |
| 代理公司: | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 樊岑遥 |
| 地址: | 314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶硅 棒套圆治具 | ||
1.一种单晶硅棒套圆治具,其特征在于,包括刀具本体(1)、调节机构(2)、固定机构(3)、定位机构(4)、冷却机构(5)和可拆卸机构(6),刀具本体(1)固定设置在磨削机上,固定机构(3)固定设置在刀具本体(1)的外侧用与固定刀具,调节机构(2)设置在刀具本体(1)上用于刀具直径的调节,定位机构(4)固定设置在刀具本体(1)的底端外侧用于测量单晶硅棒(7)的尺寸,冷却机构(5)设置在刀具本体(1)和调节机构(2)之间用于磨削时的冷却,可拆卸机构(6)设置在刀具本体(1)的顶部用于拆卸刀具。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒套圆治具,其特征在于,刀具本体(1)包括刀柄(1a)、四个筒形刀具(1b)和四个金刚砂镀层(1c),刀柄(1a)固定设置在磨削机上,每个筒形刀具(1b)均设置在调节机构(2)的底端,每个金刚砂镀层(1c)均固定设置在一个筒形刀具(1b)的底端。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒套圆治具,其特征在于,调节机构(2)包括圆盘(2a)、四个滑块(2b)、四个导轨(2c)和四个限位滑条(2d),圆盘(2a)位于刀柄(1a)的底部,每个导轨(2c)均固定设置在圆盘(2a)的底端,每个滑块(2b)均与一个导轨(2c)滑动连接,每个筒形刀具(1b)均设置在滑块(2b)的底端,且每个筒形刀具(1b)均与一个滑块(2b)固定连接,每个筒形刀具(1b)的底端一侧上开设有一个滑槽,每个限位滑条(2d)均固定设置在筒形刀具(1b)远离滑槽的一侧。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒套圆治具,其特征在于,固定机构(3)包括第一固定条(3a)、固定螺栓(3c)、螺母(3d)和三个第二固定条(3b),第一固定条(3a)固定设置在一个筒形刀具(1b)的顶端外侧,且第一固定条(3a)上开设有一个滑槽(3e),每个第二固定条(3b)均固定设置在一个筒形刀具(1b)的顶端外侧,且第一固定条(3a)与三个第二固定条(3b)形成一个固定圈,靠近滑槽(3e)的一个第二固定条(3b)上开设有一个通孔,固定螺栓(3c)固定设置在通孔中,固定螺栓(3c)的末端设置有一个螺纹,螺母(3d)设置在螺纹上。
5.根据权利要求4所述的一种单晶硅棒套圆治具,其特征在于,定位机构(4)包括固定滑板(4a)和定位滑板(4b),固定滑板(4a)固定设置在一个筒形刀具(1b)的底端外侧,且固定滑板(4a)上开设有一个滑槽,定位滑板(4b)可滑动的设置在滑槽中。
6.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒套圆治具,其特征在于,冷却机构(5)包括四个导管(5c),所述圆盘(2a)内部开设有一个储水仓,圆盘(2a)的顶端开设有一个注水孔(5a),圆盘(2a)的底端开设有四个个出水孔(5b),每个滑块(2b)上均开设有一个第一注水轨道(5d),每个导管(5c)的一端与一个出水孔(5b)连接,每个导管(5c)的另一端与第一注水轨道(5d)连接,所述筒形刀具(1b)的内部还开设有一个第二注水轨道(5e),所述第二注水轨道(5e)的顶端开口与第一注水轨道(5d)的底端开口对应。
7.根据权利要求6所述的一种单晶硅棒套圆治具,其特征在于,可拆卸机构(6)包括连接环(6a),连接环(6a)固定设置在刀柄(1a)的底端,连接环(6a)与圆盘(2a)之间通过螺纹(6b)固定连接。
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