[实用新型]镜头装配结构以及相应的光学仪器

说明书

本公开的实施例涉及一种镜头装配结构以及相应的光学仪器。该镜头装配结构包括：光学镜头；镜头支撑壳体，其被构造成支撑或夹持所述光学镜头，所述镜头支撑壳体和所述光学镜头之间至少部分地设置有间隙；粘结剂，被填充在所述间隙中；以及环状件，包括环形部和楔入部，所述楔入部从所述环形部延伸；在所述环状件的装配后状态下，所述光学镜头穿过所述环形部所限定的开孔，并且所述楔入部至少部分地楔入到所述间隙以及所填充的粘结剂中。通过本公开的镜头装配结构，可以有助于装调后的光学镜头的稳定性。

技术领域

本公开的各实施例涉及镜头装配结构领域，更特别地涉及半导体光学检测领域的高精度装调镜头的高稳定性固定结构以及具有该固定结构的光学仪器。

背景技术

半导体光学检测设备使用的光学镜头(例如，光谱椭偏仪的物镜)往往需要进行高精度的装调和高稳定性的固定，以适应半导体器件在制造过程中的高精度检测需求。

然而，常规的光学镜头的装配结构在固定过程中又往往容易对前面工序的高精度装调(例如，装调后的光学镜头)造成破坏。另一方面，在半导体器件的制造过程中，光学检测设备也常常需要在不同位置进行切换，这也会影响常规机械固定结构的长期稳定性。

实用新型内容

本公开的目的在于提出一种改进的镜头装配结构，其可以至少解决现有技术中装调后的镜头容易被破坏和/或长时间稳定性差的技术问题。

根据本公开的第一方面，提供了一种镜头装配结构。该镜头装配结构包括：光学镜头；镜头支撑壳体，其被构造成支撑或夹持所述光学镜头，所述镜头支撑壳体和所述光学镜头之间至少部分地设置有间隙；粘结剂，被填充在所述间隙中；以及环状件，包括环形部和楔入部，所述楔入部从所述环形部延伸；在所述环状件的装配后状态下，所述光学镜头穿过所述环形部所限定的开孔，并且所述楔入部至少部分地楔入到所述间隙以及所填充的粘结剂中。

将会理解，借助于本公开的镜头装配结构，一方面，环状件可以作为刚性填充物减少粘合剂的用量，从而减小粘合剂的固化时间和固化收缩量；另一方面，环状件可以成为固化应力的承受件，使固化应力在粘合剂周围均匀分布，从而保证了光学镜头在固化过程中及以后的高稳定性。

在一些实施例中，所述环状件的横截面为π字型结构。以这种方式，可以使得环状件(特别是环状件的楔入部)沿着镜头外侧面均匀分布，从而有助于作为承受件，以使得粘剂剂固化所产生的应力均匀。

在一些实施例中，所述间隙沿着所述光学镜头的外侧面并且平行于所述光学镜头的光轴延伸。以这种方式，可以有助于间隙中的粘结剂对镜头外侧面的粘结固定。

在一些实施例中，所述粘结剂是收缩率小于1％的粘结剂。以这种方式，可以降低粘结剂的固化应力。

在一些实施例中，所述环形部由所述镜头支撑壳体支撑，并且所述环状件不接触所述光学镜头。以这这种方式，可以使得环形部作为承受应力的承载件，从而不会影响装调后镜头的稳定性。

在一些实施例中，所述镜头支撑壳体具有本体以及朝向所述光学镜头的方向伸出的突出部，所述光学镜头由所述突出部夹持或支撑，其中所述间隙由所述光学镜头的外侧面、所述本体和所述突出部三者限定。在这些实施例中，可以特别地限定出用于环状件的间隙，从而便于粘结剂的注入和环状件的楔入，从而提高粘结剂在镜头、镜头支撑壳体以及环状件三者之间的粘结固定。

在一些实施例中，所述间隙沿所述光学镜头的光轴方向延伸的深度大于所述突出部沿所述光轴方向延伸的长度。以这种方式，可以尽可能多增加粘剂剂粘接固定的区域。

在一些实施例中，所述突出部经由螺纹连接并且夹持或支撑所述光学镜头。以这种方式，可以使得光学镜头可以借助于突出部的螺纹进行装调。

根据本公开的第二方面，提供了一种光学仪器。该光学仪器包括根据第一方面所述的镜头装配结构。

在一些实施例中，该光学仪器可以是光谱椭偏仪