[实用新型]一种抛光载盘清洗存储设备有效

专利信息
申请号: 202120402414.2 申请日: 2021-02-23
公开(公告)号: CN214817691U 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 徐全 申请(专利权)人: 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
主分类号: B24B37/27 分类号: B24B37/27;B24B37/34
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 黄灿;顾春天
地址: 710065 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光 清洗 存储 设备
【权利要求书】:

1.一种抛光载盘清洗存储设备,用于清洗并存储抛光载盘,其特征在于,包括壳体,所述壳体内设置有支撑结构和清洁刷,所述支撑结构用于固定抛光载盘,所述清洁刷对应所述支撑结构设置,且所述清洁刷用于清洁固定于所述支撑结构上的抛光载盘,对应每一所述支撑结构设置的清洁刷包括两组,且两组所述清洁刷分别用于清洁固定于所述支撑结构上的抛光载盘的两侧。

2.根据权利要求1所述的抛光载盘清洗存储设备,其特征在于,所述清洁刷包括刷体和设置于所述刷体表面的刷毛,所述刷体设置有所述刷毛的一侧还设置有距离传感器,所述距离传感器用于检测所述刷体和抛光载盘之间的距离。

3.根据权利要求2所述的抛光载盘清洗存储设备,其特征在于,所述刷体呈圆柱形,所述刷毛环绕所述刷体设置,其中,所述刷体的直径为4至7厘米,所述刷毛的长度为0.5至1厘米。

4.根据权利要求2所述的抛光载盘清洗存储设备,其特征在于,还包括驱动组件,所述清洁刷与所述驱动组件相连,所述驱动组件用于带动所述清洁刷自转和移动。

5.根据权利要求1所述的抛光载盘清洗存储设备,其特征在于,还包括设置于所述壳体内的清洁喷头,所述清洁喷头对应所述支撑结构设置,所述清洁喷头用于喷洒清洁液以清洁固定于所述支撑结构上的抛光载盘。

6.根据权利要求5所述的抛光载盘清洗存储设备,其特征在于,所述壳体内还设置有溢流槽,所述溢流槽与所述壳体的底部之间的壳体为密封结构,所述清洁喷头还用于在存储抛光载盘时,持续向所述壳体内注入清洁液。

7.根据权利要求5所述的抛光载盘清洗存储设备,其特征在于,所述清洁喷头分别固定于所述壳体的顶部和底部。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的抛光载盘清洗存储设备,其特征在于,还包括可自转的转盘,所述转盘设置于所述壳体内,所述清洁喷头固定于所述转盘上,以在所述转盘的带动下随所述转盘转动。

9.根据权利要求1所述的抛光载盘清洗存储设备,其特征在于,还包括可自转的转盘,所述转盘设置于所述壳体内,所述支撑结构包括多个吊钩,所述吊钩固定于所述转盘上,以在所述转盘的带动下随所述转盘转动。

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