[实用新型]晶圆盒搬运机器人

说明书

本实用新型适用晶圆盒搬运设备领域，公开一种晶圆盒搬运机器人，包括自动导引车和搬运执行机构，搬运执行机构包括主座体、安装于主座体上的机械臂和与机械臂连接用于夹持晶圆盒的夹持装置，主座体上设有至少一个用于承载晶圆盒的卡槽和至少一个分别用于检测各卡槽内是否装载有晶圆盒的检测装置，卡槽具有用于支撑晶圆盒的槽底壁和凸设于槽底壁之边缘以用于对晶圆盒限位的槽侧壁，检测装置包括嵌设于槽底壁上以用于探测槽底壁上是否支撑有晶圆盒的第一探测器和设于槽侧壁上以用于探测卡槽内是否装载有晶圆盒的第二探测器。本实用新型提供的晶圆盒搬运机器人在其中任意一个探测器发生故障时仍能正常工作，充分保障了晶圆盒搬运机器人的可靠性。

技术领域

本实用新型涉及晶圆盒搬运设备领域，尤其涉及一种晶圆盒搬运机器人。

背景技术

为了降低晶圆被污染的风险，晶圆一般存放于晶圆盒内并通过晶圆盒进行运输。传统技术中，晶圆盒在仓库、生产车间等室内的搬运一般通过人工进行搬运，其耗费的人力较多。

为了解决上述传统技术中的问题，现有技术提出了一种用于搬运晶圆盒的晶圆盒搬运机器人。现有的晶圆盒搬运机器人包括主座体，主座体上设有用于承载晶圆盒的卡槽。现有技术中，一般通过单一的探测器进行探测卡槽内是否装载有晶圆盒，这样，在具体应用中会存在以下问题：探测器出现故障时，晶圆盒搬运机器人就不能判断卡槽内是否装载有晶圆盒，从而使其无法正常工作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆盒搬运机器人，其旨在解决现有技术晶圆盒搬运机器人的探测器发生故障时无法正常工作的技术问题。

为达到上述目的，本实用新型提供的方案是：为达到上述目的，本实用新型提供的方案是：一种晶圆盒搬运机器人，包括自动导引车和设于所述自动导引车上的搬运执行机构，所述搬运执行机构包括设于所述自动导引车上的主座体、用于夹持晶圆盒的夹持装置和安装于所述主座体上并与所述夹持装置连接以用于驱动所述夹持装置运动的机械臂，所述主座体上设有至少一个用于承载所述晶圆盒的卡槽和至少一个分别用于检测各所述卡槽内是否装载有所述晶圆盒的检测装置，所述卡槽具有用于支撑所述晶圆盒的槽底壁和凸设于所述槽底壁之边缘以用于对所述晶圆盒限位的槽侧壁，所述检测装置包括嵌设于所述槽底壁上以用于探测所述槽底壁上是否支撑有所述晶圆盒的第一探测器和设于所述槽侧壁上以用于探测所述卡槽内是否装载有所述晶圆盒的第二探测器。

进一步地，所述第一探测器为微动开关或者压力传感器。

进一步地，每个所述检测装置都包括一个或两个以上的所述第一探测器。

进一步地，每个所述检测装置都包括两个对称分布于所述槽底壁之中心两侧的所述第一探测器。

进一步地，所述槽底壁的边缘包括四个两两呈对角设置的拐角部，每个所述检测装置都包括两个分别靠近于两个呈对角设置之所述拐角部设置的所述第一探测器。

进一步地，所述第二探测器为漫反射式光电传感器或者光耦合器或者超声波传感器。

进一步地，所述槽侧壁为沿所述槽底壁之边缘环绕设置的环状壁体；或者，

所述槽侧壁包括至少两个沿环绕所述槽底壁之边缘间隔设置的分段式壁体。

进一步地，所述搬运执行机构还包括用于识别所述晶圆盒之信息载体的识别装置。

进一步地，所述识别装置包括射频读卡器和/或条形码扫描器和/或二维码扫描器。

进一步地，所述主座体包括横向延伸部、竖向延伸部和至少一个形成有所述卡槽的承载部，所述横向延伸部设于自动导引车上，所述竖向延伸部与所述横向延伸部或者所述自动导引车连接并延伸于所述横向延伸部的上方，所述承载部设于所述横向延伸部的上方且与所述横向延伸部的顶部或者所述竖向延伸部连接，所述槽侧壁包括间隔、相对设置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁靠近所述竖向延伸部设置，所述识别装置嵌设于所述第二侧壁上。