[实用新型]一种具有外置气缸振打结构的除尘器

说明书

本实用新型公开一种具有外置气缸振打结构的除尘器，包括除尘器壳体以及振打组件，除尘器壳体上设置有安装部，安装部上开设有通孔，振打组件包括振打气缸、可伸缩管以及振打部，可伸缩管设置在除尘器壳体内部，且一端与安装部密封连接，另一端与振打部密封连接，振打气缸通过安装部安装在除尘器壳体外部，振打气缸的活塞杆穿过通孔以及可伸缩管与振打部固定连接。通过安装部、可伸缩管、振打部形成一可伸缩的密闭腔室，振打气缸的活塞杆穿过安装部与振打部固定连接，从而带动可伸缩的密闭腔室进行伸缩运动形成振打，保证了即便在活塞杆的动密封处有泄漏时，气体会泄漏到密闭腔室，而不会泄漏到除尘器壳体内，从而避免了对生产造成的巨大影响。

技术领域

本实用新型涉及除尘器技术领域，特别是涉及一种具有外置气缸振打结构的除尘器。

背景技术

现有单晶硅生产工艺过程中，为保护末端真空泵，必须在真空泵前安装简谐式真空除尘器，简谐式真空除尘器已经成为单晶硅生产工艺中的必须设备。

现有简谐式真空除尘器，内部振打机构为直线运动方式。如申请号为201510836584.0的发明专利申请公开了一种单晶硅、多晶硅简谐式除尘器，其中，动力部件为避免受真空环境影响，使用电磁铁提供动力，但电磁铁存在磁力衰减及推力小的问题，其动力性能会逐渐衰减导致动力不足且本身所能提供推力不大。

气缸机构动力衰减极小且推力大，可以替代电磁铁成为简谐式真空除尘器内部动力部件，但气缸机构由于采用压缩空气作为动力气源，活塞杆处的动密封结构随着使用会产生磨损，从而导致内部高压空气泄漏，而在单晶硅生产中，这种泄漏极为致命，会导致所生产的的产品报废。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有外置气缸振打结构的除尘器，以解决上述现有技术存在的问题，将振打气缸通过安装部安装在除尘器壳体外部，可伸缩管通过安装部安装在除尘器壳体内部，通过安装部、可伸缩管、振打部形成一可伸缩的密闭腔室，振打气缸的活塞杆穿过安装部与振打部固定连接，从而带动可伸缩的密闭腔室进行伸缩运动形成振打，保证了即便在活塞杆的动密封处有泄漏时，气体会泄漏到密闭腔室，而不会泄漏到除尘器壳体内，从而避免了对生产造成的巨大影响。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：本实用新型提供一种具有外置气缸振打结构的除尘器，包括除尘器壳体以及振打组件，所述除尘器壳体上设置有安装部，所述安装部上开设有通孔，所述振打组件包括振打气缸、可伸缩管以及振打部，所述可伸缩管设置在所述除尘器壳体内部，且一端与所述安装部密封连接，另一端与所述振打部密封连接，所述振打气缸通过所述安装部安装在所述除尘器壳体外部，所述振打气缸的活塞杆穿过所述通孔以及所述可伸缩管与所述振打部固定连接。

优选地，所述活塞杆与所述振打部之间通过连接杆固定连接。

优选地，所述连接杆外部套设有对所述连接杆往复运动起导向作用的导管组件，所述导管组件一端固定安装在所述安装部，另一端与所述振打部间隔设置。

优选地，所述导管组件包括导向管和设置在所述导向管内的导向套，所述导向管一端与所述安装部固定连接，另一端设置所述导向套，所述导向套与所述连接杆滑动配合。

优选地，所述可伸缩管包括波纹管以及固定连接在所述波纹管两端的连接法兰，所述可伸缩管通过所述连接法兰与所述安装部、所述振打部密封连接。

优选地，所述波纹管与所述连接法兰之间的连接方式为焊接。

优选地，所述除尘器壳体上开设有安装口，所述安装口上设置有安装法兰，所述安装部包括安装座，所述安装座与所述安装法兰密封连接，所述振打气缸与所述可伸缩管均安装在所述安装座上。

优选地，所述安装法兰与所述安装座之间、所述连接法兰与所述安装座之间、所述连接法兰与所述振打部之间均设置有密封圈。

本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：