[实用新型]一种掩膜版后处理用夹具

权利要求书

1.一种掩膜版后处理用夹具，其特征在于，包括承托板，所述承托板上开设有与掩膜版相适应的清洗槽，所述清洗槽内所有顶角位置均设置有内凹的掩膜版顶角避让圆弧；所述清洗槽的边沿连接有朝向清洗槽中心的掩膜版承托条；

还包括一固定基板，所述固定基板上均布设置有若干固定槽，所述固定槽内可拆卸固定有所述承托板。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜版后处理用夹具，其特征在于，所述掩膜版承托条放置掩膜版的侧面与其同侧的承托板表面间距离不小于掩膜版厚度。

3.根据权利要求2所述的一种掩膜版后处理用夹具，其特征在于，与所述掩膜版承托条放置掩膜版的侧面同侧的承托板表面与掩膜版表面齐平。

4.根据权利要求1所述的一种掩膜版后处理用夹具，其特征在于，所述承托板上设置有操作区，所述操作区包括至少两缺口槽，所述缺口槽与清洗槽边沿连接。

5.根据权利要求1所述的一种掩膜版后处理用夹具，其特征在于，所述固定槽设置有五个，其中四个固定槽呈矩阵排列设置，另一固定槽设置在呈正矩阵排列的四固定槽中心位置。

6.根据权利要求1所述的一种掩膜版后处理用夹具，其特征在于，所述固定基板和所述承托板材质均由铝合金材料制成，铝合金表面镀有0.5mm厚的特氟龙防腐涂层。