[实用新型]一种高精度闭环控制的狭缝调整装置

权利要求书

1.一种高精度闭环控制的狭缝调整装置，其特征在于，包括：

安装狭缝片的刀架；

驱动所述刀架移动的驱动件；

支撑所述驱动件的支架；

其中，所述支架约束所述刀架的移动方向，所述刀架及所述支架上安装有磁栅组件；所述磁栅组件获取所述狭缝片的移动位置反馈给电控单元，电控单元根据所述磁栅组件反馈的移动位置控制所述驱动件驱动所述刀架移动到达预定位置，实现对狭缝片位置的闭环控制。

2.如权利要求1所述的高精度闭环控制的狭缝调整装置，其特征在于，所述支架上设有导轨，所述驱动件驱动所述刀架沿所述导轨移动。

3.如权利要求1所述的高精度闭环控制的狭缝调整装置，其特征在于，所述磁栅组件包括磁栅尺和磁栅读数头，所述磁栅尺位于所述刀架上，所述磁栅读数头位于所述支架上。

4.如权利要求1所述的高精度闭环控制的狭缝调整装置，其特征在于，所述驱动件为步进电机，所述步进电机的单步位移为1.5微米。

5.如权利要求4所述的高精度闭环控制的狭缝调整装置，其特征在于，所述步进电机的输出螺杆与传动螺母螺纹连接，所述传动螺母采用压圈方式固定在刀架上，狭缝片固定在刀架上。

6.如权利要求1所述的高精度闭环控制的狭缝调整装置，其特征在于，所述刀架包括第一刀架和第二刀架，第一刀架上安装有第一狭缝片，第二刀架上安装有第二狭缝片，所述第一刀架与所述第二刀架相向运动。

7.如权利要求6所述的高精度闭环控制的狭缝调整装置，其特征在于，所述驱动件包括第一电机、第二电机，所述第一电机驱动所述第一刀架移动，所述第二电机驱动所述第二刀架移动。

8.如权利要求7所述的高精度闭环控制的狭缝调整装置，其特征在于，所述第一刀架和第二刀架均设有滑块，所述支架上设有导轨，所述滑块沿所述导轨移动。

9.如权利要求6所述的高精度闭环控制的狭缝调整装置，其特征在于，所述磁栅组件包括第一磁栅尺、第一磁栅读数头，所述第一磁栅尺安装在第一刀架上，所述第一磁栅读数头安装在支架上。

10.如权利要求9所述的高精度闭环控制的狭缝调整装置，其特征在于，所述磁栅组件包括第二磁栅尺、第二磁栅读数头，所述第二磁栅尺安装在第二刀架上，所述第二磁栅读数头安装在支架上。