[实用新型]硅片激光切割热损伤探测装置

说明书

本实用新型提供了一种硅片激光切割热损伤探测装置，其包括用于放置硅片的载片台、获取所述硅片激光切割边缘的检测位置获取单元、以及拉曼散射光谱检测单元；所述拉曼散射光谱检测单元具有提供拉曼散射光谱检测入射光的激光光源、位于所述载片台上方的物镜、与所述物镜配合供拉曼散射光传输的光路、以及用于实现拉曼散射光检测的检测器，基于本实用新型所提供的硅片激光切割热损伤探测装置，能够提供一种不同于现有技术对硅片激光切割边缘一侧的热影响检测方式，通过该方能够更为准确获取激光切割对硅片的热影响，符合业界对光伏产品越来越高的质量需求。

技术领域

本实用新型涉及光伏制造领域，尤其涉及一种硅片激光切割热损伤探测装置。

背景技术

随着光伏行业的发展，将整片电池分割成若干分片电池，进而以分片电池制备太阳能光伏组件，既可以降低组件的电阻损失，也可以提高组件封装电池的密度(如叠瓦组件)，能有效提升太阳能光伏组件的效率。目前分片电池的成型过程中通常采用激光切割方式实现裂片，一种具体实现方式为：采用激光划片配合冷却循环的方式进行硅片的裂片，即通过应力使得硅片/电池片裂开成两或多片，以期最大程度降低激光切割给硅片带来损伤。但由于激光的高能量影响，裂片后的硅片边缘还是不可避免会出现局部晶格畸变甚至熔融，进而影响硅片的机械性能及电池光电转换效率。为更好的控制硅片裂片质量，需要对硅片裂片边缘的裂片质量进行检测，现有技术中，都是通过使用光学显微镜观察的方式进行表面形貌探测，然该方式仅能检测到严重的硅片熔融情况，对于程度较小的晶格畸变等变化无法探测。

有鉴于此，有必要提供一种改进的技术方案以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术存在的技术问题之一，为实现上述实用新型目的，本实用新型提供了一种硅片激光切割热损伤探测装置，其具体设计方式如下。

一种硅片激光切割热损伤探测装置，其包括用于放置硅片的载片台、获取所述硅片激光切割边缘的检测位置获取单元、以及拉曼散射光谱检测单元；所述拉曼散射光谱检测单元具有提供拉曼散射光谱检测入射光的激光光源、位于所述载片台上方的物镜、与所述物镜配合供拉曼散射光传输的光路、以及用于实现拉曼散射光检测的检测器。

进一步，所述载片台具有用于承载硅片的载板以及设置于所述载板下方的移动架，所述移动架具有驱使所述载板上下移动的竖向移动轴。

进一步，所述探测装置还包括传送单元，所述传送单元具有用于将硅片传送至所述载片台的传送带，所述载板具有顶面低于所述传送带上表面的初始状态以及顶面高于所述传送带上表面的顶起状态。

进一步，所述传送单元具有感应所述硅片进入所述载板上方并控制所述载板顶起所述硅片的传感器。

进一步，所述移动架还具有驱使所述载板沿垂直于所述硅片激光切割边缘长度方向的水平方向移动的横向移动轴。

进一步，所述移动架还具有驱使所述载板沿所述硅片激光切割边缘长度方向移动的纵向移动轴。

进一步，所述探测装置还具有与所述物镜配合以显示所述硅片表面形貌的成像单元。

进一步，所述检测位置获取单元为设置于所述载片台上侧的视觉相机。

进一步，所述探测装置还包括控制所述检测位置获取单元与所述拉曼散射光谱检测单元运行的控制单元。

本实用新型的有益效果是：基于本实用新型所提供的硅片激光切割热损伤探测装置，能够提供一种不同于现有技术对硅片激光切割边缘一侧的热影响检测方式，通过该方式能够更为准确获取激光切割对硅片的热影响，符合业界对光伏产品越来越高的质量需求。

附图说明