[实用新型]一种籽晶固定装置和用于长晶的坩埚有效
| 申请号: | 202120021096.5 | 申请日: | 2021-01-05 |
| 公开(公告)号: | CN214193515U | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
| 发明(设计)人: | 刘星;宋金鑫;丁峰;刘先哲;郑荣庆;刘伟 | 申请(专利权)人: | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司: | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人: | 刘晓佳 |
| 地址: | 250118 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 籽晶 固定 装置 用于 坩埚 | ||
1.一种籽晶固定装置,其特征在于,包括:
籽晶放置台,所述籽晶放置台的底部设有用于放置籽晶的卡槽;和
贯通的夹持件,所述夹持件在所述卡槽处与所述籽晶放置台可拆卸连接,以使得所述固定装置处于装配状态时,籽晶的上表面和下表面分别与所述卡槽的顶壁和所述夹持件的顶部抵接,进而被夹持固定。
2.根据权利要求1所述的籽晶固定装置,其特征在于,所述夹持件在所述卡槽处与所述籽晶放置台螺纹连接。
3.根据权利要求2所述的籽晶固定装置,其特征在于,所述卡槽由设于所述籽晶放置台底部的卡环形成,所述卡环的侧壁外表面具有外螺纹;
所述夹持件具有与所述卡环形状相匹配的环壁,所述环壁内表面具有内螺纹,所述夹持件的底部向内凸起延伸形成抵接台。
4.根据权利要求1-3任一所述的籽晶固定装置,其特征在于,所述卡槽的深度为3~10mm,底壁直径为70~300mm。
5.根据权利要求1所述的籽晶固定装置,其特征在于,所述夹持件的底部向下延伸形成开放的晶体生长腔。
6.根据权利要求5所述的籽晶固定装置,其特征在于,所述晶体生长腔为圆台形。
7.一种用于长晶的坩埚,包括坩埚上盖,和如权利要求1-6任一所述的籽晶固定装置,其特征在于,所述籽晶固定装置位于所述坩埚上盖的底部中心位置。
8.根据权利要求7所述的用于长晶的坩埚,其特征在于,所述卡槽形成于所述坩埚上盖的底部中心位置。
9.根据权利要求7所述的用于长晶的坩埚,其特征在于,所述坩埚的内径为80~400mm,高度为100~350mm,壁厚为5~30mm。
10.根据权利要求7所述的用于长晶的坩埚,其特征在于,所述坩埚是石墨坩埚,所述籽晶是碳化硅籽晶片。
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