[发明专利]一种磁场与振动结合的硅片微纳米结构制备装置

权利要求书

1.一种磁场与振动结合的硅片微纳米结构制备装置，包括反应釜和夹紧托盘，其特征在于：还包括衔铁圈、漆包线绕线组和振动器；所述衔铁圈固定在反应釜的侧壁上；三个漆包线绕线组绕在衔铁圈上；所述的夹紧推盘固定在反应釜底部；所述反应釜底部与振动器的输出端固定连接；所述的振动器和三个漆包线绕线组分别连接一个电源。

2.根据权利要求1所述的一种磁场与振动结合的硅片微纳米结构制备装置，其特征在于：还包括导磁性金属粒子。

3.根据权利要求1或2所述的一种磁场与振动结合的硅片微纳米结构制备装置，其特征在于：所述的电源采用交流电。

4.根据权利要求3所述的一种磁场与振动结合的硅片微纳米结构制备装置，其特征在于：漆包线绕线组与电源之间串联有电阻。

5.根据权利要求1所述的一种磁场与振动结合的硅片微纳米结构制备装置，其特征在于：所述的夹紧托盘包括十字板、滑杆、限位块和弹簧；所述的十字板固定在反应釜底部；所述十字板的四个臂均开设有圆孔；四个滑杆内端与十字板四个臂的圆孔分别构成滑动副；所述的滑杆外端固定有限位块；每个限位块与对应位置的一个圆孔通过设有预拉力的弹簧连接。