[发明专利]直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉

说明书

本发明提供一种直拉单晶炉水冷屏装置，属于提高晶棒收率工艺的技术领域，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°，当水冷屏与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°时，使得整个热场的温度得到改变，使得晶棒固液界面的中心温度与边缘温度接近，使得晶棒拉出后，晶棒的尾部的截面尽量接近水平，进而晶棒的收率提高。

技术领域

本发明涉及提高晶棒收率工艺技术领域，具体涉及一种直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉。

背景技术

直拉单晶炉中设置有水冷屏装置，用于单晶炉内制造均匀的热场，而水冷屏与单晶炉的中轴线夹角不同时，容易导致拉晶过程中，晶棒的尾部容易凹陷或者凸出，导致晶棒的收率不高。

发明内容

有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种提高晶棒收率的直拉单晶炉水冷屏装置。

还有必要提出一种单晶炉。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种直拉单晶炉水冷屏装置，包括水冷屏，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2-20°。

优选地，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2-10°。

优选地，所述水冷屏与单晶炉的中轴线夹角为25°/2-35°/2。

优选地，所述水冷屏与单晶炉的中轴线夹角为20°。

优选地，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2。

优选地，所述水冷屏的内侧壁设置有凹坑，以形成漫反射，提高拉晶速率。

优选地，所述水冷屏为上下开口的筒状，所述水冷屏的开口上大下小。

优选地，所述凹坑为圆形。

优选地，所述水冷屏的外侧壁两端相对设置固定杆。

一种单晶炉，包括如上所述的直拉单晶炉水冷屏装置。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

当水冷屏与单晶炉的中轴线夹角为15°/2-20°时，使得整个热场的温度得到改变，使得晶棒固液界面的中心温度与边缘温度接近，使得晶棒拉出后，晶棒的尾部的截面尽量接近水平，进而晶棒的收率提高。

附图说明

图1为单晶炉的剖视图。

图2为水冷屏的结构示意图。

图中：导流筒100、水冷屏200、凹坑210、圆环形护套220、固定杆230。

具体实施方式

以下结合本发明的附图，对本发明实施例的技术方案以及技术效果做进一步的详细阐述。

请参看图1至图2，一种直拉单晶炉水冷屏装置，包括水冷屏200，所述水冷屏200与单晶炉的中轴线夹角a为15°/2-20°。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

当水冷屏200与单晶炉的中轴线夹角a为15°/2-20°时，使得整个热场的温度得到改变，使得晶棒固液界面的中心温度与边缘温度接近，使得晶棒拉出后，晶棒的尾部的截面尽量接近水平，进而晶棒的收率提高。

进一步的，所述水冷屏200与单晶炉的中轴线夹角a为15°/2-10°。

进一步的，所述水冷屏200与单晶炉的中轴线夹角a为25°/2-35°/2。

进一步的，所述水冷屏200与单晶炉的中轴线夹角a为20°。

进一步的，所述水冷屏200与单晶炉的中轴线夹角a为15°/2。