[发明专利]直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉在审
| 申请号： | 202111639257.8 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114369865A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 丁亚国;李玲玲;梁万亮;马国忠;顾燕滨 | 申请（专利权）人： | 宁夏申和新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750000 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直拉单晶炉 水冷 装置 单晶炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种直拉单晶炉水冷屏装置，其特征在于，包括水冷屏，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2-20°。
2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉水冷屏装置，其特征在于，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2-10°。
3.根据权利要求1所述的直拉单晶炉水冷屏装置，其特征在于，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为25°/2-35°/2。
4.根据权利要求1所述的直拉单晶炉水冷屏装置，其特征在于，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为20°。
5.根据权利要求1所述的直拉单晶炉水冷屏装置，其特征在于，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2。
6.根据权利要求1所述的直拉单晶炉水冷屏装置，其特征在于，所述水冷屏的内侧壁设置有凹坑，以形成漫反射，提高拉晶速率。
7.根据权利要求6所述的直拉单晶炉水冷屏装置，其特征在于，所述水冷屏为上下开口的筒状，所述水冷屏的开口上大下小。
8.根据权利要求7所述的直拉单晶炉水冷屏装置，其特征在于，所述凹坑为圆形。
9.根据权利要求8所述的直拉单晶炉水冷屏装置，其特征在于，所述水冷屏的外侧壁两端相对设置固定杆。
10.一种直拉单晶炉水冷屏装置，其特征在于，包括如权利要求1所述的直拉单晶炉水冷屏装置。
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