[发明专利]工件加工用片在审
| 申请号： | 202111636114.1 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN115141566A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 渡边周平;山口征太郎;小田直士;梅本夏树 | 申请（专利权）人： | 琳得科株式会社 |
| 主分类号： | C09J7/29 | 分类号： | C09J7/29;C09J7/30;C09J133/08;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 工用 | ||
1.一种工件加工用片，其具备基材与层叠于所述基材的一面侧的粘着剂层，所述工件加工用片的特征在于，
所述基材具备靠近所述粘着剂层的表面层、远离所述粘着剂层的背面层、及位于所述表面层与所述背面层之间的中间层，
至少所述背面层含有抗静电剂，
所述中间层含有苯乙烯类热塑性弹性体，
以11Hz的频率对所述基材进行粘弹性测定并将90℃下的损耗角正切设为tanδ(90)、将110℃下的损耗角正切设为tanδ(110)、将120℃下的损耗角正切设为tanδ(120)时，
tanδ(110)以绝对值计为0.25以上，
tanδ(110)/tanδ(90)为1.3以上，
tanδ(120)/tanδ(110)为0.9以下。
2.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，所述表面层含有抗静电剂。
3.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，所述表面层含有聚烯烃类树脂及烯烃类热塑性弹性体。
4.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，所述背面层含有烯烃类热塑性弹性体。
5.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，所述中间层含有苯乙烯类热塑性弹性体、聚烯烃类树脂及烯烃类热塑性弹性体。
6.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，
所述中间层不含抗静电剂，或
所述中间层含有抗静电剂，且其含量少于所述表面层及所述背面层各自的所述抗静电剂的含量，含量的单位为质量％。
7.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，所述抗静电剂为高分子型抗静电剂。
8.根据权利要求1所述的工件加工用片，其特征在于，所述粘着剂层的与基材为相反侧的面的表面电阻率为1.0×1013Ω/□以下。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的工件加工用片，其特征在于，所述工件加工用片为切割片。
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