[发明专利]气体分析装置

说明书

本发明提供气体分析装置，使分析装置紧凑且抑制保养作业量的增加。分析装置(100、200)包括光源(3)、第一气动检测器(53)、第二气动检测器(55)、第三气动检测器(57)和运算部(7)。光源(3)输出测定光(Lm)。第一气动检测器测定由第一成分气体(Gs1)吸收的测定光的强度。第二气动检测器测定由第二成分气体(Gs2)吸收的测定光的强度。第三气动检测器将由光吸收特性与第一成分气体和第二成分气体的光吸收特性至少部分重复的第三成分气体(Gs3)吸收的测定光的强度测定为第一通过测定光(Lm1)的强度。运算部(7)根据第一通过测定光的强度算出与第三成分气体(Gs3)相关的信息。

技术领域

本发明涉及分析试样气体所含的成分的气体分析装置。

背景技术

以往，作为对从预定的部位(例如烟道等)取样的试样气体(例如废气)所含的预定成分(例如硫氧化物(SO_x)、氮氧化物(NO_x))进行分析的装置，公知的是利用了所述成分的光吸收特性(例如红外光吸收特性)的装置。例如，公知的是利用被称为气动检测器的传感器检测所述成分的红外光吸收特性的分析装置。

上述的试样气体通常除了包含作为分析对象的成分(称为分析对象成分)以外，还包含吸收光的其他成分。根据试样气体，分析对象成分的光吸收特性(例如吸收波长范围)和分析对象以外的成分的光吸收特性有时会重复。上述的成分被称为干涉成分，会对分析对象成分的分析结果产生影响(称为干涉影响)。

为了减小上述光吸收特性的重复的影响，除了设置用于检测分析对象成分的光吸收特性的气动检测器以外，还设置用于检测干涉成分的光吸收特性的气动检测器的分析装置已被公众所知(例如参照专利文献1)。所述分析装置可以根据从检测分析对象成分的光吸收特性的气动检测器得到的检测结果、以及从检测干涉成分的光吸收特性的气动检测器得到的检测结果的差分，高精度地对分析对象成分进行分析。

专利文献1：日本特开2012-68164号

目前正在尝试利用上述的由气动检测器检测光吸收特性的分析装置，来分析试样气体所含的多种分析对象成分。即使在分析多种分析对象成分的情况下，仍需要针对每种分析对象成分检测所述分析对象成分的光吸收特性、以及相对于所述分析对象成分的干涉成分的光吸收特性。另一方面，期望即便分析对象成分增加，分析装置也尽可能紧凑，尽可能抑制分析装置的保养作业量的增加。

发明内容

本发明的目的是在使用测定光吸收特性的气动检测器来分析多种分析对象成分的分析装置中，尽可能使分析装置紧凑，并抑制分析装置的保养作业量的增加。

以下说明多种方式作为用于解决技术问题的手段。这些方式可以根据需要任意组合。

本发明一个方式的气体分析装置是分析试样气体所含的成分的装置。分析装置具备测定池、光源、第一气动检测器、第二气动检测器、第三气动检测器和运算部。

测定池向内部导入试样气体。光源向测定池的内部辐射测定光。第一气动检测器测定试样气体所含的第一成分气体在测定池的内部吸收的测定光的强度。第二气动检测器测定试样气体所含的第二成分气体在测定池的内部吸收的测定光的强度。第三气动检测器将第三成分气体在测定池的内部吸收的测定光的强度，测定为第一通过测定光的强度，所述第三成分气体包含于试样气体且对测定光的光吸收特性与第一成分气体和第二成分气体对测定光的光吸收特性至少部分重复，所述第一通过测定光为通过第二气动检测器后的测定光。运算部根据由第三气动检测器测定的第一通过测定光的强度，算出与第三成分气体相关的信息。

由此，能够由一个气动检测器测定光吸收特性与第一成分气体和第二成分气体的光吸收特性至少部分重复、即与上述成分气体干涉的第三成分气体对测定光的吸收量。其结果是，能够使分析装置紧凑。