[发明专利]气体分析装置在审
| 申请号: | 202111628845.1 | 申请日: | 2021-12-28 | 
| 公开(公告)号: | CN114764060A | 公开(公告)日: | 2022-07-19 | 
| 发明(设计)人: | 米谷康弘;井之上哲志;生田卓司;阪仓诚司 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场制作所 | 
| 主分类号: | G01N21/61 | 分类号: | G01N21/61;G01N21/31 | 
| 代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 鹿屹;李雪春 | 
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 气体 分析 装置 | ||
1.一种气体分析装置,是分析试样气体所含的成分的装置,所述气体分析装置的特征在于,具备:
测定池,其向内部导入所述试样气体;
光源,其向所述测定池的内部辐射测定光;
第一气动检测器,其测定所述试样气体所含的第一成分气体在所述测定池的内部吸收的所述测定光的强度;
第二气动检测器,其测定所述试样气体所含的第二成分气体在所述测定池的内部吸收的所述测定光的强度;
第三气动检测器,其将第三成分气体在所述测定池的内部吸收的所述测定光的强度,测定为第一通过测定光的强度,所述第三成分气体包含于所述试样气体且对所述测定光的光吸收特性与所述第一成分气体和所述第二成分气体对所述测定光的光吸收特性至少部分重复,所述第一通过测定光为通过所述第二气动检测器后的所述测定光;以及
运算部,其根据由所述第三气动检测器测定的所述第一通过测定光的强度,算出与所述第三成分气体相关的信息。
2.根据权利要求1所述的气体分析装置,其特征在于,所述运算部根据由所述第一气动检测器测定的所述测定光的强度和由所述第三气动检测器测定的所述第一通过测定光的强度,算出与所述第一成分气体相关的信息。
3.根据权利要求1或2所述的气体分析装置,其特征在于,所述第一气动检测器具备封入有所述第一成分气体且供所述测定光通过的第一封入池。
4.根据权利要求1~3中任意一项所述的气体分析装置,其特征在于,所述第二气动检测器具备封入有所述第二成分气体且供所述测定光通过的第二封入池。
5.根据权利要求4所述的气体分析装置,其特征在于,所述第三气动检测器具备封入有所述第二成分气体的第三封入池。
6.根据权利要求5所述的气体分析装置,其特征在于,所述第二封入池内的所述第二成分气体的浓度是所述第三封入池内的所述第二成分气体的浓度的一半以下。
7.根据权利要求1~6中任意一项所述的气体分析装置,其特征在于,所述第一成分气体为二氧化硫,所述第二成分气体为氮氧化物,所述第三成分气体为水蒸气。
8.根据权利要求1~7中任意一项所述的气体分析装置,其特征在于,还包括第四气动检测器,所述第四气动检测器将由第四成分气体吸收的所述测定光的强度,测定为第二通过测定光的强度,所述第四成分气体包含于所述试样气体且对所述测定光的光吸收特性与所述第一成分气体对所述测定光的光吸收特性至少部分重复,所述第二通过测定光为通过所述第一气动检测器后的所述测定光。
9.根据权利要求8所述的气体分析装置,其特征在于,所述运算部根据由所述第一气动检测器测定的所述测定光的强度、由所述第二气动检测器测定的所述测定光的强度、由所述第三气动检测器测定的所述第一通过测定光的强度、以及由所述第四气动检测器测定的所述第二通过测定光的强度,算出与所述第一成分气体相关的信息。
10.根据权利要求8或9所述的气体分析装置,其特征在于,所述第四成分气体为甲烷。
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