[发明专利]柔性显示面板、显示装置以及柔性显示面板的制作方法在审
| 申请号: | 202111590341.5 | 申请日: | 2021-12-23 |
| 公开(公告)号: | CN114335184A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
| 发明(设计)人: | 任学超;覃事建 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/34 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 熊恒定 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 柔性 显示 面板 显示装置 以及 制作方法 | ||
本发明提供一种柔性显示面板、显示装置以及柔性显示面板的制作方法,柔性显示面板包括:衬底;缓冲层,所述缓冲层设置于所述衬底上;第一柔性层,所述第一柔性层设置于所述缓冲层上;有源层、栅极绝缘层和栅极层,所述有源层、所述栅极绝缘层和所述栅极层依次设置于所述第一柔性层上;第二柔性层,所述第二柔性层覆盖在所述有源层、所述栅极绝缘层和所述栅极层上,且所述第二柔性层与所述第一柔性层接触。本发明通过结合第一柔性层与第二柔性层对有源层、栅极绝缘层以及栅极层实现包裹,从而在第一柔性层和第二柔性层所带来的柔性缓冲作用下,可避免被包裹的有源层在弯折或者其他受力过程中发生断裂,提高了柔性显示面板的可靠性。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性显示面板、显示装置以及柔性显示面板的制作方法。
背景技术
在显示技术领域,液晶显示面板(Liquid Crysta1l Displa1y,LCD)与有机发光二极管显示面板(Orga1nic Light Emitting Diode,OLED)等平板显示装置已经逐步取代阴极线管显示器。其中,OLED显示面板具有自发光、驱动电压低、发光效率高、清晰度和对比度高和可实现柔性显示面与大面积全色显示等诸多优点。
然而,在OLED显示面板中,顶栅型薄膜晶体管(Thin Film Transisto,TFT)结构的有源层很薄且位于栅极绝缘层及源漏极图形化位置,地形复杂,在弯折或其他受力过程中,有源层易断裂导致TFT工作失效,影响柔性显示效果。
发明内容
本发明提供一种柔性显示面板、显示装置以及柔性显示面板的制作方法,旨在解决有源层在弯折或其他受力过程中发生断裂的问题。
为了解决上述问题,本发明提供一种柔性显示面板,包括:衬底;缓冲层,所述缓冲层设置于所述衬底上;第一柔性层,所述第一柔性层设置于所述缓冲层上;有源层、栅极绝缘层和栅极层,所述有源层、所述栅极绝缘层和所述栅极层依次设置于所述第一柔性层上;第二柔性层,所述第二柔性层覆盖在所述有源层、所述栅极绝缘层和所述栅极层上,且所述第二柔性层与所述第一柔性层接触。
其中,所述第一柔性层和所述第二柔性层的材料均为不透明材料。
其中,所述柔性显示面板还包括遮光层,所述遮光层设置于所述衬底上,且所述遮光层被所述缓冲层覆盖,所述遮光层与所述有源层对应设置。
其中,所述第一柔性层和第二柔性层的材料相同。
其中,所述第一柔性层和第二柔性层的材料包括无机材料。
其中,所述柔性显示面板还包括:层间介质层,所述层间介质层覆盖于所述第一柔性层和所述第二柔性层上;第一过孔和第二过孔,所述第一过孔和所述第二过孔分别设置在所述栅极层的相对两侧,且所述第一过孔和所述第二过孔均依次贯穿所述层间介质层和所述第二柔性层;源漏极层,所述源漏极层设置于所述层间介质层上,且所述源漏极层填充于所述第一过孔和所述第二过孔,以与所述有源层电连接。
其中,所述第一柔性层和所述第二柔性层的厚度范围均为0.01μm-2μm。
本发明提供一种显示装置,包括如上述所述的柔性显示面板。
本发明还提供一种柔性显示面板的制作方法,包括:提供衬底;在所述衬底上形成缓冲层;在所述缓冲层上形成第一柔性层;在所述第一柔性层上依次形成有源层、栅极绝缘层和栅极层;在所述有源层、所述栅极绝缘层、所述栅极层上覆盖形成第二柔性层,以使所述第二柔性层与所述第一柔性层接触。
其中,所述制作方法还包括:在所述第一柔性层和所述第二柔性层上覆盖形成层间介质层;在所述栅极层的相对两侧分别形成第一过孔和第二过孔,所述第一过孔和所述第二过孔均依次贯穿所述层间介质层和所述第二柔性层;在所述层间介质层上形成填充所述第一过孔和所述第二过孔的源漏级层。
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