[发明专利]一种基于同步参考光校正的椭偏测量系统在审
| 申请号： | 202111570272.1 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114427834A | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 牛晓海;黄建华;尚振华;姚岭;邱青菊;吴博文;吕彤欣 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02;G01B11/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京启坤知识产权代理有限公司 11655 | 代理人： | 姜冰莹 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 同步 参考 校正 测量 系统 | ||
1.一种基于同步参考光校正的椭偏测量系统，其中，该椭偏测量系统包括：光源、起偏器、分光器、第一聚焦透镜系统、第二聚焦透镜系统、验偏器、第一探测器、第二探测器、处理器以及控制器；其中，所述光源发出的光经所述起偏器转换为线偏振光，线偏振光经分光器分成测量光和参考光，所述参考光照射到所述第二探测器；所述测量光经过所述第一聚焦透镜系统后照射在待检测样品，所述待检测样品发射的光经过所述第二聚焦透镜系统后进入所述验偏器，所述验偏器出射的光照射到所述第一探测器；所述处理器用于对所述第一探测器和所述第二探测器同步测量的光强进行收集和处理，所述控制器用于在测量过程中控制马达旋转。
2.根据权利要求1所述的椭偏测量系统，其中，该椭偏测量系统还包括第一延迟波片；所述测量光依次经过所述第一延迟波片、所述第一聚焦透镜系统后照射在待检测样品，或者，所述待检测样品发射的光依次经过所述第二聚焦透镜系统、所述第一延迟波片后进入所述验偏器。
3.根据权利要求1所述的椭偏测量系统，其中，该椭偏测量系统还包括第二延迟波片和第三延迟波片，所述测量光依次经过所述第二延迟波片、所述第一聚焦透镜系统后照射在待检测样品，所述待检测样品发射的光依次经过所述第二聚焦透镜系统、所述第三延迟波片后进入所述验偏器。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的椭偏测量系统，其中，所述处理器中包括用于第一探测器的第一模拟数字转换器以及用于第二探测器的第二模拟数字转换器，所述第一模拟数字转换器和所述第二模拟数字转换器相互独立且共用一个时钟源。
5.根据权利要求1至4中任一项所述椭偏测量系统，其中，所述分光器的分光面与所述起偏器的出光偏振方向平行。
6.根据权利要求1至4中任一项所述椭偏测量系统，其中，所述分光器的分光面与所述起偏器的出光偏振方向垂直。
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