[发明专利]空心阴极发射体组件气密性测试装置及方法

权利要求书

1.一种空心阴极发射体组件气密性测试装置，其特征在于，包括：气密工装(1)、空心阴极发射体组件(2)、配气系统(3)、供气阀(5)、气压表(6)以及测试设备，其中：

所述气密工装(1)安装在空心阴极发射体组件(2)上；

配气系统(3)通过供气管路对空心阴极发射体组件(2)供气；

测试设备对供气的空心阴极发射体组件(2)进行气密性测试；

所述供气管路上设置有供气阀(5)和气压表(6)。

2.根据权利要求1所述的空心阴极发射体组件气密性测试装置，其特征在于，所述测试设备包括检漏仪(4)和/或无水乙醇槽(7)。

3.根据权利要求1所述的空心阴极发射体组件气密性测试装置，其特征在于，所述气密工装(1)包括保护帽、压紧盖以及转接帽，其中：

所述转接帽旋拧在保护帽上；

所述转接帽设置有容纳压紧盖的内腔，所述压紧盖设置在转接帽的内腔中，转接帽旋拧保护帽进行调节气密工装(1)和空心阴极发射体组件(2)的压紧程度。

4.根据权利要求3所述的空心阴极发射体组件气密性测试装置，其特征在于，所述压紧盖的端部还设置有密封圈，气密工装(1)和空心阴极发射体组件(2)之间通过密封圈过渡配合。

5.根据权利要求2所述的空心阴极发射体组件气密性测试装置，其特征在于，所述检漏仪本底漏率优于1×10^-8Pa。

6.根据权利要求1所述的空心阴极发射体组件气密性测试装置，其特征在于，测试设备的测试气体采用氮气、氦气或氙气。

7.一种基于权利要求1-6任一项所述的空心阴极发射体组件气密性测试装置的测试方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1：将气密工装安装在空心阴极发射体组件上，气密工装连接供气管路；

步骤S2：开启配气系统为空心阴极发射体组件冲入表压0.1～0.3Mpa氮气、氦气或氙气，关闭供气阀门，静置1～2min观察气压表气压有无明显下降，若明显下降则重新安装气密测试工装再次充气静置观察；

步骤S3：使用检漏仪对所需测试焊缝进行漏率测试；

步骤S4：若检漏结果不满足要求，通入氮气、氦气或氙气，不关闭供气阀门保持持续供气，将空心阴极发射体置于无水乙醇槽中观察焊缝附近漏气情况。

8.根据权利要求7所述的测试方法，其特征在于，检漏测试使用气体为氦气。

9.根据权利要求7所述的测试方法，其特征在于，通入氮气、氦气或氙气的压强为0.1～0.3Mpa。

10.根据权利要求7所述的测试方法，其特征在于，检漏仪本底漏率优于1×10^-8Pa。