[发明专利]一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺

说明书

本发明为一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺。一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，所述的运行工艺中设置有并联的四座吸附塔，分别为吸附塔1、吸附塔2、吸附塔3和吸附塔4；在运行过程中，四座吸附塔分别处于吸附、加热、吹扫、冷却的状态。本发明所述的一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，缩短了单座吸附塔的吸附时间，延长了活性炭的再生时间，确保了活性炭再生效果，使其能有效吸附氢气中杂质，提高氢气品质。

技术领域

本发明属于多晶硅技术领域，具体涉及一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺。

背景技术

多晶硅尾气回收工序中回收氢活性炭吸附提纯工艺是：将含有氯硅烷、氯化氢等少量杂质的回收氢，从吸附塔底部输入，利用活性炭吸附剂疏松多孔结构的物理特性对氯硅烷、HCL等杂质进行吸附，以此净化氢气。吸附完成后通过降压、加热、吹扫等方式对吸附塔活性炭进行再生，活性炭微孔中的杂质因压力和温度等变化以及外作用力而脱附，活性炭从而达到循环利用的效果。

在多晶硅行业回收氢吸附工艺中，每一套吸附系统由三座吸附塔组成，在运行过程中，一塔处于吸附过程，一塔处于加热解吸过程，一塔处于冷却过程，三座塔操作循环周期约为5小时。对于单座塔而言，其运行步骤为：吸附、减压加热、加热吹扫、充压冷却、冷却、下一次吸附。但是，在该过程中，存在以下缺点：(1)由于活性炭在周期性的重复吸附和再生的过程，其寿命会随着时间的推移衰减，具体表现为吸附塔会出现加热/冷却延时的现象。这样就无形中增加了吸附工况下的吸附塔的吸附时间。(2)现有工艺方案(控制时序)在吸附后期氢气中磷含量显著上升，严重制约多晶硅产量和品质。(3)若三台吸附塔中有一台吸附塔因故障检修，则剩下的两台吸附塔通常需要降量至少30％后交替运行，才能保证氢气质量不受影响，从而降低了装置产量。

有鉴于此，本发明提出一种新的多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，可有效解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，通过四塔吸附技术，实现周期性切换，对吸附和再生进行了优化。

为了实现上述目的，所采用的技术方案为：

一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，所述的运行工艺中设置有并联的四座吸附塔，分别为吸附塔1、吸附塔2、吸附塔3和吸附塔4；

在运行过程中，四座吸附塔分别处于吸附、加热、吹扫、冷却的状态。

进一步的，所述的运行工艺包括以下步骤：

(1)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于冷却、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少1min；

(2)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少3min；

(3)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少50min；

(4)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热吹扫、均压冷却的状态，在该状态下运行至少100min；

(5)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、冷却、均压冷却的状态，在该状态下运行至少10min；

(6)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、冷却、均压冷却的状态，在该状态下运行至少70min；

(7)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；

(8)所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；