[发明专利]一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺

权利要求书

1.一种多晶硅尾气回收工序活性炭吸附塔的运行工艺，其特征在于，所述的运行工艺中设置有并联的四座吸附塔，分别为吸附塔1、吸附塔2、吸附塔3和吸附塔4；

在运行过程中，四座吸附塔分别处于吸附、加热、吹扫、冷却的状态。

2.根据权利要求1所述的运行工艺，其特征在于，所述的运行工艺包括以下步骤：

(1)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于冷却、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少1min；

(2)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少3min；

(3)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少50min；

(4)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于降压加热、加热吹扫、均压冷却的状态，在该状态下运行至少100min；

(5)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、冷却、均压冷却的状态，在该状态下运行至少10min；

(6)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、冷却、均压冷却的状态，在该状态下运行至少70min；

(7)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；

(8)所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；

(9)所述的吸附塔1进行降压加热，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少3min；

(10)所述的吸附塔1进行降压加热，吸附塔2-4分别处于加热、充压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少50min；

(11)所述的吸附塔1进行降压加热，吸附塔2-4分别处于加热吹扫、均压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少100min；

(12)所述的吸附塔1进行加热吹扫，吸附塔2-4分别处于冷却、均压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少10min；

(13)所述的吸附塔1进行加热吹扫，吸附塔2-4分别处于冷却、均压冷却、吸附的状态，在该状态下运行至少70min；

(14)所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、吸附的状态，在该状态下运行至少1min；

(15)所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、冷却的状态，在该状态下运行至少1min；

(16)所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、降压加热的状态，在该状态下运行至少3min；

(17)所述的吸附塔1进行加热，吸附塔2-4分别处于充压冷却、吸附、降压加热的状态，在该状态下运行至少50min；

(18)所述的吸附塔1进行加热吹扫，吸附塔2-4分别处于均压冷却、吸附、降压加热的状态，在该状态下运行至少100min；

(19)所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于均压冷却、吸附、加热吹扫的状态，在该状态下运行至少10min；

(20)所述的吸附塔1进行冷却，吸附塔2-4分别处于均压冷却、吸附、加热吹扫的状态，在该状态下运行至少70min；

(21)所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、吸附、加热的状态，在该状态下运行至少1min；

(22)所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、冷却、加热的状态，在该状态下运行至少1min；

(23)所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、降压加热、加热的状态，在该状态下运行至少3min；

(24)所述的吸附塔1进行充压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、降压加热、加热的状态，在该状态下运行至少50min；

(25)所述的吸附塔1进行均压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、降压加热、加热吹扫的状态，在该状态下运行至少100min；

(26)所述的吸附塔1进行均压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、加热吹扫、冷却的状态，在该状态下运行至少10min；

(27)所述的吸附塔1进行均压冷却，吸附塔2-4分别处于吸附、加热吹扫、冷却的状态，在该状态下运行至少70min；

(28)所述的吸附塔1进行吸附，吸附塔2-4分别处于吸附、加热、充压冷却的状态，在该状态下运行至少1min。