[发明专利]一种检测装置

说明书

本申请公开一种检测装置，该检测装置包括机架、驱动机构以及检测件；驱动机构悬挂设置于机架上；检测件设置于驱动机构上，检测件用于检测机架下方的待检测物品；其中，驱动机构用于调整检测件的位置。通过机架可以提供个一个稳定的安装载体，使得驱动机构可以悬挂设置于机架上，驱动机构能够在机架上带动检测件移动，其中，驱动机构位于机架上端，通过将驱动机构悬挂设置在机架上，可以减少杂物进入到驱动机构内，以能够降低污染，以提升检测装置的使用寿命，同时尽可能地降低检测装置的清洗难度，驱动机构悬挂于机架可以释放机架下方的空间，尽可能地提升检测装置的空间利用率。

技术领域

本申请涉及检测设备的技术领域，特别是涉及一种检测装置。

背景技术

检测装置可以用来检测产品的质量，比如市面上的扫描超声显微镜(SAM)是一种利用超声波作为媒介的无损检测装置，通过向检测样品发射超声波，利用超声波在传播介质的声阻抗变化的界面的反射与透射，能够对微机电系统、芯片等的内部的微结构进行高精度扫描成像，对产品质量控制具有重要的意义。但是超声显微镜在对样品进行检测时，难免会产生灰尘或者金属屑等杂物，容易导致检测装置的传动机构受到污染，降低设备使用寿命。

发明内容

本申请主要提供一种检测装置，以解决传动结构易受污染的问题。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种检测装置，该检测装置包括机架、驱动机构以及检测件；所述驱动机构悬挂设置于所述机架上；所述检测件设置于所述驱动机构上，所述检测件用于检测所述机架下方的待检测物品；其中，所述驱动机构用于调整所述检测件的位置。

可选地，所述检测件是超声探头，用于向所述待检测物品发射超声波。

可选地，所述驱动机构包括第一移动机构和第二移动机构，所述第一移动机构悬挂设置于所述机架上，且用于沿第一方向调整所述检测件的位置；所述第二移动机构设置于所述第一移动机构上，且用于沿与所述第一方向垂直的第二方向调整所述检测件的位置。

可选地，所述第一移动机构和所述第二移动机构均包括第一导向件、第一移动件以及第一驱动件；所述第一导向件沿所述第一方向或所述第二方向延伸设置；所述第一移动件与所述第一导向件滑动配合；所述第一驱动件与所述第一移动件连接，用于驱动所述第一移动件沿所述第一导向件所限定的方向移动。

可选地，所述第一驱动件包括呈两排间隔设置的直线电机定子和设置于两排所述直线电机定子之间的直线电机动子，所述第一导向件包括设置于所述直线电机定子两侧的两个滑轨，所述第一移动件包括安装臂和间隔设置于所述安装臂上的三个连接臂，其中中间的所述连接臂连接所述直线电机动子，两侧的所述连接臂滑动装配于对应的所述滑轨上。

可选地，所述驱动机构还包括第三移动机构，所述第三移动机构设置于所述第二移动机构上，用于沿与所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向调整所述检测件的位置。

可选地，所述第三移动机构包括第二导向件、第二移动件以及第二驱动件；所述第二导向件沿所述第三方向延伸设置；所述第二移动件与所述第二导向件滑动配合；所述第二驱动件与所述第二移动件连接，用于驱动所述第二移动件沿所述第三方向移动。

可选地，所述检测装置还包括工作台、机箱以及启闭组件；所述机箱设有操作口，所述机箱设置于所述工作台上；所述启闭组件安装于所述机箱上，用于打开或关闭所述操作口；其中，所述驱动机构、所述机架和所述检测件设置于所述机箱内，所述启闭组件关闭所述操作口而与所述机箱和所述工作台构成密闭仓。

可选地，所述启闭组件包括遮挡件和摆动件；所述遮挡件用于遮盖所述操作口；所述摆动件的一端转动设置在所述机架上，所述摆动件的另一端转动设置在所述遮挡件上，用于带动所述遮挡件运动，以打开或者关闭所述操作口。

可选地，所述检测装置还包括防护件，所述防护件设置于所述驱动机构上，并跟随所述检测件运动，用以抵接于所述工作台，以形成包围所述检测件的密闭空腔。