[发明专利]一种溅镀镀膜设备

权利要求书

1.一种溅镀镀膜设备，包括箱体(1)、固定连接在箱体(1)一侧壁的固定杆(2)、靶材支架(3)、靶材(4)、基片支架(5)和基片(6)，固定杆(2)的一端固定连接在靶材支架(3)的中部，靶材(4)固定安装在靶材支架(3)的一侧，基片支架(5)设于远离靶材(4)一端的箱体(1)内，基片(6)固定安装在基片支架(5)的一侧，其特征在于：所述箱体(1)的侧壁上开设有两个对称设置的滑槽(7)，所述基片支架(5)的两端均固定安装有滚轮(8)，且滚轮(8)在滑槽(7)的内部滑动，所述基片支架(5)的中部固定安装有第一伸缩杆(9)，所述第一伸缩杆(9)的一端固定安装有第一活塞(10)，所述第一伸缩杆(9)上套设有第一弹簧(11)，且第一弹簧(11)的两端分别固定连接在基片支架(5)和第一活塞(10)上，所述第一活塞(10)的一侧固定安装有两个对称设置的第二弹簧(12)，两个所述第二弹簧(12)的一端固定安装在箱体(1)的内部上，所述箱体(1)的一侧内开设有第一内腔(13)，所述第一内腔(13)的内部固定安装有透明刻度板(14)，所述第一活塞(10)上固定安装有指针(15)，所述指针(15)的针尖指向透明刻度板(14)的刻度；

所述箱体(1)的一侧固定安装有收集箱(16)，所述收集箱(16)的内部设有用于回收再利用箱体(1)内部的氩气的二次利用机构，所述箱体(1)的侧壁上开设有第一凹槽(23)，所述箱体(1)的顶壁上开设有第二凹槽(37)，所述第一凹槽(23)和第二凹槽(37)的内部均设有用于防止箱体(1)内氩气回流的控制机构，所述箱体(1)的外侧设有水泵(28)，所述箱体(1)和靶材(4)内设有用于降低靶材(4)温度的冷却机构，所述固定杆(2)上设有用于控制水泵(28)启停的控制开关，所述箱体(1)和收集箱(16)的内部设有用于移动基片(6)的驱动机构，所述箱体(1)的侧壁内固定安装有通气管(40)，所述箱体(1)的侧壁内设有用于连通通气管(40)并控制出气的排气机构。

2.根据权利要求1所述的一种溅镀镀膜设备，其特征在于：所述二次利用机构包括固定安装在箱体(1)底端的真空泵(17)，所述收集箱(16)的底端固定安装有导气管(18)，所述真空泵(17)的排气管与导气管(18)通过软管连接，所述收集箱(16)的内部固定安装有隔板(19)，所述隔板(19)上开设有第一通气口(20)，且隔板(19)和第一通气口(20)之间设有4A分子筛(21)，所述收集箱(16)的侧壁上开设有第二通气口(22)，且第二通气口(22)和第一凹槽(23)连通。

3.根据权利要求1所述的一种溅镀镀膜设备，其特征在于：所述控制机构包括固定安装在第一凹槽(23)内部的固定板(24)，所述固定板(24)的一侧固定安装有第二伸缩杆(25)，且的第二伸缩杆(25)与固定板(24)与之连接处的宽度相同，所述第二伸缩杆(25)的一端固定安装有第一梯形活塞(26)，所述第二伸缩杆(25)上套接有第三弹簧(27)，且第三弹簧(27)的两端分别固定连接在固定板(24)和第一梯形活塞(26)上。

4.根据权利要求1所述的一种溅镀镀膜设备，其特征在于：所述冷却机构包括开设在靶材(4)内部的蛇形槽(29)，所述箱体(1)的内部设有三通接头(30)，且蛇形槽(29)的两端分别通过水管与水泵(28)和三通接头(30)连通。

5.根据权利要求1所述的一种溅镀镀膜设备，其特征在于：所述控制开关包括固定安装在固定杆(2)上的导电块(31)，所述导电块(31)的上端设有导电滑块(32)，所述导电滑块(32)的一侧固定连接有记忆弹簧(33)。

6.根据权利要求4所述的一种溅镀镀膜设备，其特征在于：所述驱动机构包括固定安装在三通接头(30)内部的汽水分离膜(34)，所述箱体(1)的侧壁上固定安装有保温管(35)，且保温管(35)的两端分别通过导管与三通接头(30)和收集箱(16)连通，所述收集箱(16)的内部滑动安装有第二活塞(36)，所述收集箱(16)的一侧固定安装有出气管(38)，且第二凹槽(37)与出气管(38)连通，所述箱体(1)的侧壁上固定安装有进气管(39)，所述出气管(38)与进气管(39)通过软管连接。

7.根据权利要求1所述的一种溅镀镀膜设备，其特征在于：所述排气机构包括开设在通气管(40)上端的第一排气口(41)，所述箱体(1)的顶壁上开设有第三凹槽(42)，所述第三凹槽(42)的内部滑动安装有第二梯形活塞(43)，所述第二梯形活塞(43)的一端固定安装有按压块(44)，所述第二梯形活塞(43)上开设有第二排气口(45)，所述第二梯形活塞(43)的内部开设有第二内腔(46)，所述通气管(40)的一端贯穿第二梯形活塞(43)的内部并延伸至第二排气口(45)内，所述通气管(40)上固定安装有固定块(47)，且固定块(47)设于第二内腔(46)内，所述通气管(40)上套设有第四弹簧(48)，且第四弹簧(48)的两端分别固定连接在第二内腔(46)的内壁和固定块(47)上。