[发明专利]一种悬浮式差压信号检测装置及仪表

权利要求书

1.一种悬浮式差压信号检测装置，包括两个圆盘状的第一膜座(110)，两个所述第一膜座(110)之间夹设有金属材质的膜片(120)，两个所述第一膜座(110)边缘对焊连接以将所述膜片(120)固定，每个所述第一膜座(110)的外侧面为金属面，每个所述第一膜座(110)的内侧面分别设有镀膜电极，两个第一膜座(110)内侧面上的镀膜电极与膜片(120)分别形成了测量电容C_H和测量电容C_L；每个所述第一膜座(110)的镀膜电极分别连接有第一信号引线(170)，所述第一信号引线(170)分别密封穿出所述第一膜座(110)，每个所述第一膜座(110)与所述膜片(120)之间形成密封的感应腔(130)，其特征在于：

每个所述第一膜座(110)外分别设置有第二膜座(140)，所述第二膜座(140)与相应的所述第一膜座(110)外侧边缘密封固定连接，所述第二膜座(140)与相应的所述第一膜座(110)之间围成稳压腔(150)，所述稳压腔(150)与位于所述膜片(120)同侧的所述感应腔(130)连通；

测量电容C_H和测量电容C_L连接有第一信号处理及AD转换电路。

2.根据权利要求1所述的一种悬浮式差压信号检测装置，其特征在于：所述第一信号处理及AD转换电路包括激励电路、第一积分器电路、第二积分器电路、第二ADG854模拟开关U3、第三ADG854模拟开关U4以及AD8277差动放大器U5，激励电路的PWM输入端、第二ADG854模拟开关U3的IN端、第三ADG854模拟开关U4的IN端用于连接单片机的PWM输出端获取PWM控制信号，激励电路的信号输出端组连接测量电容C_H和测量电容C_L给其施加激励信号，测量电容C_H的输出端连接第一积分器电路的输入端，第一积分器电路的输出端VH连接第二ADG854模拟开关U3的信号输入端；测量电容C_L的输出端连接第二积分器电路的输入端；第二积分器电路的输出端VL连接第三ADG854模拟开关U4的信号输入端，AD8277差动放大器U5的信号输入端组与第二ADG854模拟开关U3的信号输出端组、第三ADG854模拟开关U4的信号输出端组连接，AD8277差动放大器U5的信号输出端组连接模数转换芯片。

3.根据权利要求2所述的一种悬浮式差压信号检测装置，其特征在于：所述激励电路设置有第一ADG854模拟开关U1；第一ADG854模拟开关U1的第一管脚并接第一ADG854模拟开关U1的第七管脚后连接+2.5V电源；第一ADG854模拟开关U1的第一管脚还经电容C1接地；

第一ADG854模拟开关U1的第三管脚并接第一ADG854模拟开关U1的第九管脚后接地；

第一ADG854模拟开关U1的第四管脚并接第一ADG854模拟开关U1的第五管脚后作为激励电路的PWM输入端；

第一ADG854模拟开关U1的第六管脚连接5V直流电源，第一ADG854模拟开关U1的第十管脚接地；第一ADG854模拟开关U1的第六管脚还经电容C15连接第一ADG854模拟开关U1的第十管脚；

第一ADG854模拟开关U1的第二管脚连接膜片(120)；

高压侧的感应腔(130)对应的第一膜座(110)内侧面上的镀膜电极H经电容C2连接第一ADG854模拟开关U1的第八管脚；低压侧的感应腔(130)对应的第一膜座(110)内侧面上的镀膜电极L经电容C3连接第一ADG854模拟开关U1的第八管脚。

4.根据权利要求3所述的一种悬浮式差压信号检测装置，其特征在于：所述第一积分器电路包括第一集成运放U2A；镀膜电极H经电阻R1连接第一集成运放U2A的反相输入端，第一集成运放U2A的同相输入端连接有+2.5V电源，第一集成运放U2A的反相输入端经电容C4连接集成运放U2A的输出端VH；电容C4并联有电阻R2；

第二积分器电路与第一积分器电路的电路结构相同；第二积分器电路的输入端连接镀膜电极L。