[发明专利]一种电容直联式压力检测传感器

说明书

本发明公开了一种电容直联式压力检测传感器，包括引压模块和差压传感器模块，差压传感器模块内设有由膜片分隔形成的两个密封的感应腔，每个感应腔分别连接有引压管，引压模块上对应两个引压管分别开设有引压通道并与其连通，引压通道的引压入口均开口于引压模块内，引压模块内对应两个引压入口分别开设有取压腔，两个引压入口分别密封覆盖有隔离膜片；引压模块上开设有一个取压通道和一个大气通道，两者与两个取压腔一一对应并连通，取压通道的外端从引压模块上的取压接头穿出，差压传感器模块对应其感应腔设置有静压补偿结构。本发明的有益效果：引压模块紧凑，并方便与外部待测压力源连接，此外静压补偿机构有助于提高传感器检测精度。

技术领域

本发明涉及一种压力测量装置，具体涉及一种电容直联式压力检测传感器。

背景技术

压力传感器广泛用于流体压力测量，其依靠压力敏感元件感应外部压力，压力敏感元件再将压力信号转化为电信号，电信号传给信号处理单元以得到压力值。现有的压力传感器根据压力敏感元件的不同可划分为多种类型，常见地有电阻式压力传感器、压电石英晶体型压力传感器、电容式压力传感器等。其中，电容式压力传感器的核心检测元件是膜片式差压传感器。膜片式差压传感器包括两个圆盘状的膜座，两个膜座之间设有测量膜片，两个膜座对焊连接，将测量膜片夹紧。测量膜片与两个膜座之间分别设有用于容纳硅油的感应腔，两个感应腔分别连接有引压管，引压管将外部待测压力引入测量膜片两侧。由于两侧压强不同，测量膜片向压强较小侧变形，变形量的大小反映为电容信号的变化。由于涉及与外部压力源的连接以及静压传导，现有的电容式压力传感器结构相对复杂，并且测量精度有提升空间。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种电容直联式压力检测传感器。

其技术方案如下：

一种电容直联式压力检测传感器，包括引压模块和差压传感器模块，所述差压传感器模块内设有由膜片分隔形成的两个密封的感应腔，每个所述感应腔分别连接有引压管，所述引压模块上对应两个所述引压管分别开设有引压通道，所述引压通道的两端分别为引压入口和引压出口，其中两个所述引压出口分别开设于所述引压模块表面，并与相应的所述引压管连通，其关键在于，

两个所述引压入口均开口于所述引压模块内，所述引压模块内对应两个所述引压入口分别开设有取压腔，两个所述引压入口分别密封覆盖有隔离膜片，以将所述取压腔与所述引压入口分隔；

所述引压模块上开设有一个取压通道和一个大气通道，所述大气通道与其中一个所述取压腔连通，所述取压通道的内端与另一所述取压腔连通；

所述引压模块上设有取压接头，所述取压通道的外端穿出该取压接头；

所述差压传感器模块对应其感应腔设置有静压补偿结构。

与现有技术相比，本发明的有益效果：引压模块更加紧凑，并方便与外部待测压力源连接，此外设置静压补偿机构有助于提高压力检测传感器的检测精度。

附图说明

图1为本发明的第一个视角的结构示意图；

图2为本发明的第二个视角的结构示意图；

图3为图2中A-A剖视图；

图4为差压传感器模块的结构示意图。

具体实施方式

以下结合实施例和附图对本发明作进一步说明。