[发明专利]棱镜镀膜方法及镀膜卡具

说明书

本发明提供了一种棱镜镀膜方法及镀膜卡具，涉及光学镀膜技术领域，所述棱镜包括位于底部的入光面和靠近顶部设置的反射面，所述方法包括：在棱镜的反射面镀反射膜，所述反射膜为金属加强膜，所述金属加强膜包括在所述反射面上顺次镀制的金属膜和介质膜。而镀膜卡具包括左右对称设置的第一卡体和第二卡体，第一卡体和第二卡体相对的一侧设有贯通孔，第一卡体和第二卡体受到作用力时，两者发生相对移动。采用本发明的镀膜方法，减少入射光线发生的偏振态变化。

技术领域

本发明涉及光学镀膜技术领域，尤其是涉及一种棱镜镀膜方法及镀膜卡具。

背景技术

光学元件的镀膜要求是一项重要技术指标，膜质量严重影响光学元器件的技术指标和性能，镀膜工艺涉及的因素非常多，比如镀膜设计、镀膜环境、工艺流程，其中镀膜设计涉及的膜的组分、膜的结构、膜的位置，均影响膜对光线的作用效果。

对于锥体类棱镜，当光线入射到锥体棱镜内后，在锥体棱镜的多个面发生反射，如何在锥体镀膜工艺中减少光线发生偏振态变化，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的之一在于提供一种棱镜镀膜方法，以解决现有技术中光线入射到锥体棱镜内后，在锥体棱镜的多个面发生反射引起光线发生较大的偏振态变化的技术问题。

本发明的目的之二在于提供一种用于棱镜镀膜方法的镀膜卡具。

为了实现上述目的之一，本发明提供了一种棱镜镀膜方法，所述棱镜包括位于底部的入光面和靠近顶部设置的反射面，所述方法，包括：

在棱镜的反射面镀反射膜，所述反射膜为金属加强膜，所述金属加强膜包括在所述反射面上顺次镀制的金属膜和介质膜。

根据一种可选实施方式，在棱镜的反射面镀反射膜之前，所述方法，还包括：

在棱镜的入光面镀增透膜，所述增透膜为氧化物膜，所述氧化物膜包括顺次镀制的第一金属氧化物膜和保护膜。

根据一种可选实施方式，在棱镜的入光面镀增透膜包括：

将所述棱镜的入光面的周缘设置在第一卡具的卡台上；

在所述棱镜的入光面上镀制第一金属氧化物膜，其中第一金属氧化物的折射率在1.9-2.4之间；

在所述第一金属氧化物膜上镀保护膜；

顺次迭代镀制所述第一金属氧化物膜和所述保护膜至少一次。

根据一种可选实施方式，在所述棱镜的入光面上镀制第一金属氧化物膜之前，所述方法，还包括：预热真空蒸镀腔内的温度达到设定温度。

根据一种可选实施方式，在棱镜的反射面镀反射膜包括：

将所述棱镜的反射面从第二卡具的容纳孔穿出后所述棱镜的底部卡在所述第二卡具的卡台上，使得所述棱镜倒置在第二卡具的卡台上；

在所述棱镜的反射面上镀制金属膜；

在所述金属膜表面镀介质膜。

根据一种可选实施方式，在所述棱镜的反射面上镀制金属膜之前，所述方法，还包括：

镀制前置层，所述前置层包括三氧化二铝或者铬。

根据一种可选实施方式，在所述金属膜表面镀介质膜，包括：

在所述金属膜上顺次镀制过渡层和第二金属氧化物膜。

根据一种可选实施方式，在所述金属膜上顺次镀制过渡层和第二金属氧化物膜，包括：

顺次迭代镀制所述第二金属氧化物膜和所述保护膜至少一次。