[发明专利]一种具有空气隔热层的微型多层隔热结构及其制备和应用

权利要求书

1.一种具有空气隔热层的微型多层隔热结构的制备方法，其特征在于，该微型多层隔热结构包括衬底，以及依次复合在衬底上的反射层、支撑柱、隔热层和反射层，且支撑柱与反射层之间、反射层与衬底之间均设有一层粘结层；

所述衬底为聚合物薄膜、玻璃、硅片、金属及其氧化物片中的一种；

所述支撑柱的材质为Al₂O₃或SiO₂中的一种或两种；

所述支撑柱设有若干个，其呈条形结构，并在衬底上的排列方式为平行排列、垂直排列、环绕式排列或放射式排列；

所述粘结层的材质为Cr或Ti；

所述隔热层的材质为Al₂O₃或SiO₂的一种或两种；所述反射层的材质为Ag或Al；

该制备方法包括以下步骤：

(1)取衬底并在其表面依次沉积有粘结层和反射层，接着旋涂正性光刻胶，烘烤，随后用掩模板进行紫外曝光，再在显影液中洗去曝光部分的光刻胶，形成上部开口的沉积空腔；

(2)在沉积空腔中依次沉积粘结层和支撑柱，再置于丙酮中进行剥离，得到具有支撑柱的衬底；

(3)继续在具有支撑柱的衬底上旋涂支撑胶，烘烤，并确保支撑胶高度与支撑柱齐平；

(4)接着在支撑胶与支撑柱的表面采用磁控溅射技术依次沉积粘结层、隔热层和反射层；

(5)最后将所得衬底置于丙酮中进行剥离、或用氧等离子体处理，去除支撑胶，即得到目标产物。

2.根据权利要求1所述的一种具有空气隔热层的微型多层隔热结构的制备方法，其特征在于，所述衬底的厚度为5μm～5mm；

所述支撑柱高度为2nm～10μm；

所述粘结层厚度为2nm～10μm；

所述隔热层厚度为2nm～10μm；

所述反射层厚度为2nm～10μm。

3.如权利要求1所述的一种具有空气隔热层的微型多层隔热结构的应用，其特征在于，该微型多层隔热结构用于极端环境中微电子器件的防护隔热层和电路保护外壳。