[发明专利]圆心对称型3D基板镀膜方法

说明书

本发明提供一种圆心对称型3D基板镀膜方法，包含：将一3D基板、一遮罩以及一溅镀靶材配置于一中轴线上，其中所述遮罩具有一中央开口且配置于所述3D基板与所述溅镀靶材之间，而所述3D基板具有一圆形截面；以及以所述中轴线为转轴，使所述遮罩与所述3D基板相对转动，并执行一溅镀步骤，以让所述溅镀靶材的物质溅射并通过所述中央开口而沉积到所述3D基板上。

技术领域

本发明有关于一种基板镀膜方法，尤其指一种圆心对称型3D基板镀膜方法。

背景技术

在镀膜实务上，针对不同的基板会采用不同的镀膜技术。例如，针对曲率较小的3D基板，可采平面溅镀制程进行镀膜，但基板中央与周围处的膜厚会有不均匀的问题。至于曲率较大的3D基板，则会采蒸镀制程并搭配行星式公/自转的方式进行镀膜，但基板中央与周围膜厚仍旧容易有不均匀的问题。

也就是说，在现有的3D基板镀膜技术中，因不易达到曲面上镀膜膜厚均匀，而导致有光学效果不佳或膜质特性差异的问题。另外，若是球面型3D基板，因有多维曲度，使得镀膜均匀性更难控制。

综上所述，如何提供一个能提高曲面镀膜膜厚均匀性的3D基板镀膜方法，乃是业界所需思考的重要课题。

发明内容

本发明主要提供一种圆心对称型3D基板镀膜方法，可有效地提升车辆续航力。

鉴于上述内容，本揭露之一态样系提供一种圆心对称型3D基板镀膜方法，包含：将一3D基板、一遮罩以及一溅镀靶材配置于一中轴线上，其中所述遮罩具有一中央开口且配置于所述3D基板与所述溅镀靶材之间，而所述3D基板具有一圆形截面；以及以所述中轴线为转轴，使所述遮罩与所述3D基板相对转动，并执行一溅镀步骤，以让所述溅镀靶材的物质溅射并通过所述中央开口而沉积到所述3D基板上。

根据本揭露之一个或多个实施方式，其中所述3D基板静止不动，而所述遮罩以所述中轴线为转轴且相对于所述3D基板转动。

根据本揭露之一个或多个实施方式，其中所述遮罩静止不动，而所述3D基板以所述中轴线为转轴且相对于所述遮罩转动。

根据本揭露之一个或多个实施方式，其中所述3D基板与所述遮罩皆以所述中轴线为转轴而彼此相对转动。

根据本揭露之一个或多个实施方式，其中所述溅镀靶材为方形或圆形平面。

根据本揭露之一个或多个实施方式，其中所述3D基板面对所述遮罩之表面为一凸面。

根据本揭露之一个或多个实施方式，其中所述3D基板面对所述遮罩之表面为一凹面。

根据本揭露之一个或多个实施方式，其中所述3D基板、所述遮罩以及所述溅镀靶材之中心配置于所述中轴线。

根据本揭露之一个或多个实施方式，其中所述3D基板之表面由不同深度平面、不规则平面或曲面构成。

根据本揭露之一个或多个实施方式，其中根据所述3D基板之形状与尺寸而设计所述遮罩之所述中央开口，以利用所述遮罩修正所述3D基板之表面上各位置的膜厚分布。

附图说明

为让本发明的上述与其他目的、特征、优点与实施例能更浅显易懂，所附图式之说明如下：

图1系绘示本发明一实施例中圆心对称型3D基板镀膜系统的部份组件示意图。

图2系绘示本发明另一实施例中圆心对称型3D基板镀膜系统的部份组件示意图。

图3A～3D系绘示本发明之不同实施例中3D基板的示意图。

图4A～4C系绘示本发明之实施例中3D基板与遮罩的相对位置与作动关系示意图。

图5系绘示本发明又一实施例中圆心对称型3D基板镀膜系统的部份组件示意图。