[发明专利]圆心对称型3D基板镀膜方法在审
| 申请号： | 202111486929.6 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114150278A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 吴景扬;高维笛;简昆峰;周宗震 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;业成光电（无锡）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 张锡军 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 圆心 对称 镀膜 方法 | ||
1.一种圆心对称型3D基板镀膜方法，其特征在于，包含：
将3D基板、遮罩以及溅镀靶材配置于中轴线上，其中所述遮罩具有中央开口且配置于所述3D基板与所述溅镀靶材之间，而所述3D基板具有圆形截面；以及
以所述中轴线为转轴，使所述遮罩与所述3D基板相对转动，并执行溅镀步骤，以让所述溅镀靶材的物质溅射并通过所述中央开口而沉积到所述3D基板上。
2.如权利要求1所述之圆心对称型3D基板镀膜方法，其特征在于，其中所述3D基板静止不动，而所述遮罩以所述中轴线为转轴且相对于所述3D基板转动。
3.如权利要求1所述之圆心对称型3D基板镀膜方法，其特征在于，其中所述遮罩静止不动，而所述3D基板以所述中轴线为转轴且相对于所述遮罩转动。
4.如权利要求1所述之圆心对称型3D基板镀膜方法，其特征在于，其中所述3D基板与所述遮罩皆以所述中轴线为转轴而彼此相对转动。
5.如权利要求1所述之圆心对称型3D基板镀膜方法，其特征在于，其中所述溅镀靶材为方形或圆形平面。
6.如权利要求1所述之圆心对称型3D基板镀膜方法，其特征在于，其中所述3D基板面对所述遮罩的表面为凸面。
7.如权利要求1所述之圆心对称型3D基板镀膜方法，其特征在于，其中所述3D基板面对所述遮罩的表面为凹面。
8.如权利要求1所述之圆心对称型3D基板镀膜方法，其特征在于，其中所述3D基板、所述遮罩以及所述溅镀靶材的中心配置于所述中轴线。
9.如权利要求1所述之圆心对称型3D基板镀膜方法，其特征在于，其中所述3D基板的表面由不同深度平面、不规则平面或曲面构成。
10.如权利要求1所述之圆心对称型3D基板镀膜方法，其特征在于，其中根据所述3D基板的形状与尺寸而设计所述遮罩的所述中央开口，以利用所述遮罩修正所述3D基板的表面上各位置的膜厚分布。
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