[发明专利]一种光谱测量分析中快速傅里叶变换拟合的方法及装置

权利要求书

1.一种光谱测量分析中快速傅里叶变换拟合的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，获取待测产品的光谱数据，并对所述光谱数据进行预处理；

S2，对预处理后的光谱数据进行快速傅里叶变换FFT，得到第一频谱数据；

S3，根据待测产品的材料以及预估参数范围，从频谱数据库中获取预估参数范围内的待测产品对应的多个第二频谱数据，将第一频谱数据与多个第二频谱数据进行比对，取与第一频谱数据最为接近的一个第二频谱数据对应的初值进行拟合，拟合最优解对应的参数即为待求的待测产品对应的参数。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光谱数据包括：椭偏光谱、反射率光谱、透过率光谱。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的预处理，包括：去漂移、扩展插值、加窗、以及前后补0，使得光谱数据长度符合2ⁿ的形式。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤S3中所采用的拟合方法包括：梯度下降法、牛顿法、Levenberg-Marquardt(LM)法。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤S3中拟合的目标函数为：

其中，V_i为第一频谱数据中第i个点的值，V_i'为与第一频谱数据中第i个点对应的第二频谱数据中第i个点的值，N为第一频谱数据中点的个数。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，若选择第一频谱数据的全部频谱进行拟合，则N表示整个频谱的数据点个数；若选择第一频谱数据中的部分频谱进行拟合，则在第一频谱中找出峰值最高的点的位置，取最高峰值点左右1到3倍半峰高范围内的所有点参与拟合，N为参与拟合的所有点的个数。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述频谱数据库中至少包括以下三项数据：材料名称、材料参数及其对应的频谱数据，所述材料参数包括材料厚度。

8.一种光谱测量分析中快速傅里叶变换拟合的装置，其特征在于，包括：

预处理模块，用于获取待测产品的光谱数据，并对所述光谱数据进行预处理；

FFT模块，用于对预处理后的光谱数据进行快速傅里叶变换FFT，得到第一频谱数据；

拟合模块，用于根据待测产品的材料以及预估参数范围，从频谱数据库中获取预估参数范围内的待测产品对应的多个第二频谱数据，将第一频谱数据与多个第二频谱数据进行比对，取与第一频谱数据最为接近的一个第二频谱数据所对应的初值进行拟合，拟合最优解对应的参数即为待求的待测产品对应的参数。

9.一种电子设备，其特征在于，包括：

存储器，用于存储计算机软件程序；

处理器，用于读取并执行所述计算机软件程序，进而实现权利要求1-7任一项所述的一种光谱测量分析中快速傅里叶变换拟合的方法。

10.一种非暂态计算机可读存储介质，其特征在于，所述存储介质中存储有用于实现权利要求1-7任一项所述的一种光谱测量分析中快速傅里叶变换拟合的方法的计算机软件程序。