[发明专利]真空规颗粒阻挡结构

说明书

本发明涉及真空度测量技术领域，提供一种真空规颗粒阻挡结构，包括壳体、基层挡板和至少一层叠加层挡板，壳体的一侧适于固定薄膜电极，壳体的另一侧形成有空气通道；基层挡板设置在壳体内靠近空气通道一侧，并与壳体固定连接，基层挡板上设置有第一通气口，第一通气口在垂直于空气通道的延伸方向上与空气通道错位设置；叠加层挡板设置在基层挡板靠近薄膜电极的一侧，并与壳体固定连接，叠加层挡板上设置有第二通气口，第二通气口在垂直于空气通道的延伸方向上与第一通气口错位设置。本发明提供的真空规颗粒阻挡结构，基层挡板和叠加层挡板共同作用，对薄膜电极起到良好的防护作用，有效避免颗粒物到达薄膜电极并在薄膜电极上沉积。

技术领域

本发明涉及真空度测量技术领域，尤其涉及一种真空规颗粒阻挡结构。

背景技术

电容薄膜真空规的工作原理是感压薄膜电极在压力作用下产生位移，引起薄膜电极和下电极之间距离发生变化，从而改变电容量，通过测量电容量的变化就可以获得待测真空度。电容薄膜真空计具有准确度高、稳定性好，能够测量气体的全压力且测量结果与气体成分无关等优点，因此广泛应用于航空航天、工业生产、真空计量、重大科研仪器等领域的真空度测量。

电容式薄膜真空规的关键部件为薄膜电极，薄膜电极的状态会影响实际测量的精度，量程和稳定性。在使用过程中，由于使用环境的不同，薄膜电极处于不同的测量气体氛围中，各种颗粒物会沉积在薄膜电极的表面，从而改变薄膜的一些性质，导致测量精度的降低。

发明内容

本发明提供一种真空规颗粒阻挡结构，用以解决现有技术中电容式薄膜真空规的薄膜电极易于沉积颗粒物的问题。

本发明提供一种真空规颗粒阻挡结构，包括：

壳体，所述壳体的一侧适于固定薄膜电极，所述壳体的另一侧形成有空气通道；

基层挡板，设置在所述壳体内靠近所述空气通道一侧，并与所述壳体固定连接，所述基层挡板上设置有第一通气口，所述第一通气口在垂直于所述空气通道的延伸方向上与所述空气通道错位设置；

至少一层叠加层挡板，设置在所述基层挡板靠近所述薄膜电极的一侧，并与所述壳体固定连接，所述叠加层挡板上设置有第二通气口，所述第二通气口在垂直于所述空气通道的延伸方向上与所述第一通气口错位设置。

根据本发明提供的一种真空规颗粒阻挡结构，所述叠加层挡板沿所述空气通道的延伸方向设置有两层以上，各所述叠加层挡板上的第二通气口之间在垂直于所述空气通道的延伸方向上相互错位设置。

根据本发明提供的一种真空规颗粒阻挡结构，所述叠加层挡板的直径大于所述基层挡板的直径，且在远离所述基层挡板的方向上，各所述叠加层挡板的直径逐渐增大。

根据本发明提供的一种真空规颗粒阻挡结构，所述第一通气口沿所述基层挡板的周向排布有多组，每组所述第一通气口之间沿所述基层挡板的径向间隔排布；

和/或，所述第二通气口沿所述叠加层挡板的周向排布有多个。

根据本发明提供的一种真空规颗粒阻挡结构，所述第一通气口包括圆孔和弧形孔，所述弧形孔设置在所述圆孔远离所述基层挡板的中心的一侧。

根据本发明提供的一种真空规颗粒阻挡结构，所述壳体的内壁上，设置有沿空气通道至薄膜电极的方向直径逐渐增大的至少两级支撑台阶，所述基层挡板和所述叠加层挡板的边缘固定在所述支撑台阶上。

根据本发明提供的一种真空规颗粒阻挡结构，所述壳体包括固定连接的第一构成部和第二构成部，所述基层挡板和所述叠加层挡板设置在所述第一构成部内，所述第二构成部设置有安装环，所述安装环靠近所述第一构成部的一侧适于固定薄膜电极。

根据本发明提供的一种真空规颗粒阻挡结构，与所述薄膜电极相邻的所述叠加层挡板与所述薄膜电极之间的间距介于0.05mm至20mm之间。