[发明专利]电熔丝单元阵列的版图布局方法在审

专利信息
申请号: 202111446221.8 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN114357926A 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 张黎;晏颖 申请(专利权)人: 上海华力集成电路制造有限公司
主分类号: G06F30/392 分类号: G06F30/392
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 顾浩
地址: 201315 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 电熔丝 单元 阵列 版图 布局 方法
【说明书】:

发明提供了一种电熔丝单元阵列的版图布局方法,包含:电熔丝单元对结构,其包含,二个电熔丝单元;第一电熔丝单元中包含第一晶体管和第一电熔丝单元;第二电熔丝单元中包含第二晶体管和第二电熔丝单元;第一电熔丝单元跨接在第一晶体管和第二晶体管上;第二电熔丝单元跨接在第二晶体管和第一晶体管上。据此,本发明能够达到的技术效果在于,能够在各项性能不变的情况下比现有技术的版图面积减小。

技术领域

本发明涉及集成电路版图技术,特别涉及电熔丝单元阵列的版图布局方法。

背景技术

电熔丝(eFuse)基于电迁移(EM)原理,通过熔断熔丝的原理,实现具备高可靠性的片上编程功能。随着市场对芯片面积的要求越来越高,电熔丝(eFuse)作为芯片内部用于参数设置的专用模块(IP),整体面积已经成为主要设计指标之一。而在电熔丝(eFuse)模块内部,由电熔丝(eFuse)单元构成的阵列占据整个模块面积的一半以上,因此减小电熔丝(eFuse)单元阵列面积是提高电熔丝(eFuse)模块竞争力的的主要手段之一。

在电熔丝(eFuse)版图设计时,电熔丝(eFuse)单元组成的阵列占整体面积的一半以上。电熔丝(eFuse)单元由熔丝和选择管构成。常规设计中,阵列面积是由独立电熔丝(eFuse)单元面积拼接而成,也就是单个电熔丝(eFuse)单元面积与单元数的乘积。

参阅图1A所示,现有技术的电熔丝的存储区域是由电熔丝单元阵列构成,如图1所示,其中,阵列中的存储单元既有以独立电熔丝单元的组合形式出现,这种布置方式是为了方便版图设计以及不同容量的组合。

参阅图1B所示,现有技术的一种电熔丝布局的版图中,存在一个电熔丝单元01。电熔丝阵列的总面积=单个电熔丝单元版图面积X行数X列数。参阅1C所示,采用由2个独立的电熔丝单元01直接拼接而来的单元对为基本单位形式,可以共用和节省外围的走线。图1D展示了图1C中的两个独立的电熔丝单元01的其中一个电熔丝、晶体管通路示意图,为图1B中实线框中的展示,采用带箭头的线表示了通路的情况。参阅图1E所示,以28nm工艺平台的电熔丝单元为例,其NMOS管与电熔丝面积为14.4μm2,两个单元组合面积是28.8μm2

现有技术存在的问题在于:从版图面积和效率上,上述两种方式并不是最优化的。

发明内容

本发明需要解决的技术问题是:如何进一步减小版图面积,提高版图面积利用效率。

为了解决以上技术问题,本发明提供一种电熔丝单元阵列的版图布局方法,其目的在于改进电熔丝单元阵列的版图方法,减小电熔丝模块的面积。

为了达到上述目的,本发明提供了一种电熔丝单元阵列的版图布局方法,包含:电熔丝单元对结构,其包含,二个电熔丝晶体管单元;

第一电熔丝晶体管单元包含:第一晶体管和第一电熔丝单元;

第二电熔丝晶体管单元包含:第二晶体管和第二电熔丝单元;

第一电熔丝单元跨接在第一晶体管和第二晶体管上;

第二电熔丝单元跨接在第二晶体管和第一晶体管上。

优选地,第一电熔丝单元包含第一阳极垫、第一熔丝、第一阴极垫,第一熔丝两端连接第一阳极垫和第一阴极垫;

第二电熔丝单元包含第二阳极垫、第二熔丝、第二阴极垫,第二熔丝两端连接第二阳极垫和第二阴极垫;

第一阳极垫-第一熔丝-第一阴极垫平行于第二阴极垫-第二熔丝-第二阳极垫沿第一方向布置,

在垂直于第一方向的第二方向上,第一阳极垫对准第二阴极垫,第一阴极垫对准第二阳极垫。

优选地,第一阳极垫位于第二晶体管处,第一阴极垫位于第一晶体管处;

第二阳极垫位于第一晶体管处,第二阴极垫位于第二晶体管处;

第一晶体管和第二晶体管交叉对称布置。

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