[发明专利]一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴

权利要求书

1.一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴，其特征在于，包括前端盖、外壳、后端盖、止推轴承、径向气浮轴承以及主轴，所述前端盖设置于所述外壳的前端，所述止推轴承和所述后端盖依次设置于所述外壳的后端，所述径向气浮轴承固定安装于所述外壳内，所述主轴可转动且气浮式的组配于所述径向气浮轴承内，所述主轴的尾端设有气驱动所述主轴旋转的涡轮，所述后端盖设有与外部压缩空气源连通的涡轮供气孔，所述止推轴承设有与所述涡轮供气孔连通并正对所述涡轮设置以驱动所述涡轮转动的涡轮喷嘴。

2.根据权利要求1所述的一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴，其特征在于：所述主轴由零膨胀材料、氧化锆或者氮化硅材料制备。

3.根据权利要求1所述的一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴，其特征在于：所述后端盖还设有与外部压缩空气源连通的轴承供气孔和与所述轴承供气孔连通的径向轴承供气通道，所述止推轴承设有与所述径向轴承供气通道连通的止推轴承进气通道，所述外壳设有与所述止推轴承进气通道连通的外壳供气通道，所述径向气浮轴承设有与所述外壳供气通道连通的径向节流孔和切向节流孔，所述径向气浮轴承还设有与所述径向节流孔和所述切向节流孔连通的径向气浮轴承凹槽。

4.根据权利要求3所述的一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴，其特征在于：所述后端盖还设有与所述轴承供气孔连通的止推轴承供气通道，通过所述止推轴承供气通道给止推轴承提供产生轴向推力所需的气体。

5.根据权利要求3所述的一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴，其特征在于：还包括装配于所述径向气浮轴承凹槽内的多孔质轴承。

6.根据权利要求5所述的一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴，其特征在于：所述主轴包括与其表面凹陷形成并与所述多孔质轴承相对设置的主轴人字槽微结构。

7.根据权利要求3所述的一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴，其特征在于：所述止推轴承临近所述径向气浮轴承的一端设有与所述径向节流孔和切向节流孔连通的止推轴承节流器孔，所述止推轴承节流器孔内设有多孔质嵌入式节流器。

8.根据权利要求1所述的一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴，其特征在于：还包括设置于所述涡轮外周侧的间隙调整垫。

9.根据权利要求1所述的一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴，其特征在于：所述主轴的后端面设有对主轴进行动平衡的平衡螺钉孔。

10.根据权利要求1所述的一种混合气浮式的高速超精密气驱零膨胀主轴，其特征在于：还包括设置于所述前端盖内并对主轴的转速进行实时测量的电涡流传感器。