[发明专利]一种薄膜探针卡及其探针头

权利要求书

1.一种薄膜探针卡，包括PCB板（1）、连接件（2）以及薄膜探针头（3）；所述薄膜探针头（3）包括提供一作用面（311）的支撑体（31）、覆在支撑体（31）的作用面（311）上的薄膜（32）、设置在薄膜（32）的探针（33）和设置在薄膜（32）的互连线（34）；其特征在于：

所述支撑体（31）的作用面（311）与薄膜（32）之间垫设有一支撑弹性层（35），该支撑弹性层（35）包括第一弹性体（351）和第二弹性体（352），第一弹性体（351）和第二弹性体（352）的弹力不相等，第一弹性体（351）和第二弹性体（352）在一个平面上相拼合，其连接处相抵形成拼接缝（354）；所述探针（33）与拼接缝（354）相对应，探针（33）的投影跨在拼接缝（354）上。

2.根据权利要求1所述薄膜探针卡，其特征在于：所述支撑体（31）的作用面（311）覆设有一支撑刚性体（353），所述支撑弹性层（35）一体成型于支撑刚性体（353）的朝向探针（33）的那侧表面上。

3.根据权利要求1所述薄膜探针卡，其特征在于：所述支撑体（31）中部具有一向下突出的凸部，该凸部的下表面作为所述作用面（311）；所述支撑体（31）上在凸部的外围设有供与PCB板（1）相抵的连接面（312），该连接面（312）也被所述薄膜（32）覆盖，在对应于连接面（312）的薄膜（32）部位也设有探针（33），所述支撑体（31）的连接面（312）与薄膜（32）之间也垫设有一所述支撑弹性层（35）。

4.根据权利要求1所述薄膜探针卡，其特征在于：所述支撑弹性层（35）包括多个第一弹性体（351）和多个第二弹性体（352），这些第一弹性体（351）和第二弹性体（352）在一个平面上间隔设置相拼合。

5.一种薄膜探针头，其特征在于：包括提供一作用面的支撑体（31）、覆在支撑体（31）的作用面（311）上的薄膜（32）、设置在薄膜（32）的探针（33）和设置在薄膜（32）的互连线（34）；其特征在于：

所述支撑体（31）的作用面（311）与薄膜（32）之间垫设有一支撑弹性层（35），该支撑弹性层（35）包括第一弹性体（351）和第二弹性体（352），第一弹性体（351）和第二弹性体（352）的弹力不相等，第一弹性体（351）和第二弹性体（352）在一个平面上相拼合，其连接处相抵形成拼接缝（354）；所述探针（33）与拼接缝（354）相对应，探针（33）的投影跨在拼接缝（354）上。

6.根据权利要求5所述薄膜探针头，其特征在于：所述支撑体（31）的作用面（311）覆设有一支撑刚性体（353），所述支撑弹性层（35）一体成型于支撑刚性体（353）的朝向探针（33）的那侧表面上。

7.根据权利要求5所述薄膜探针头，其特征在于：所述支撑体（31）中部具有一向下突出的凸部，该凸部的下表面作为所述作用面（311）；所述支撑体（31）上在凸部的外围设有供与PCB板（1）相抵的连接面（312），该连接面（312）也被所述薄膜（32）覆盖，在对应于连接面（312）的薄膜（32）部位也设有探针（33），所述支撑体（31）的连接面（312）与薄膜（32）之间也垫设有一所述支撑弹性层（35）。

8.根据权利要求5所述薄膜探针头，其特征在于：所述支撑弹性层（35）包括多个第一弹性体（351）和多个第二弹性体（352），这些第一弹性体（351）和第二弹性体（352）在一个平面上间隔设置相拼合。