[发明专利]一种具有金属丝的拉晶管和拉晶炉在审
| 申请号: | 202111426851.9 | 申请日: | 2021-11-28 |
| 公开(公告)号: | CN114150366A | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
| 发明(设计)人: | 陈建民;赵丽萍;张文涛;惠小青;蔡水占;钱俊有;张建中;任保国;韩笑;冯玉杰;王军霞 | 申请(专利权)人: | 河南鸿昌电子有限公司 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B30/02;C30B30/04;C30B28/06 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 461500 河南省许昌*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 具有 金属丝 拉晶管 拉晶炉 | ||
本发明涉及晶粒生产耗材技术领域,是一种具有金属丝的拉晶管和拉晶炉;一种具有金属丝的拉晶管,包括拉晶管本体,所述的拉晶管本体具有侧壁,所述的侧壁内具有金属丝;所述的金属丝是多根的,多根金属丝相互平行设置;所述的金属丝的长度方向平行或垂直拉晶管长度方向设置。拉晶炉,包括拉晶炉本体,所述的拉晶炉本体具有炉腔,还有放置在炉腔中的拉晶管,所述的拉晶炉上具有磁极或电场,所述的炉腔就在磁场或电场中,所述的拉晶管是上述技术特征的拉晶管。这样的拉晶管和拉晶炉具有生产出的晶棒质地更加均匀、拉晶效果更好、品质更加优良的优点。
技术领域
本发明涉及晶粒生产耗材技术领域,特别是涉及拉晶管,还涉及拉晶炉。
背景技术
晶粒是半导体制冷件生产过程中需要用到的重要材料,它是由晶棒切割而成的,所述的晶粒(晶棒)是由排列整齐的分子组成的,所述晶棒是在拉晶装置中进行的,所述的拉晶装置包括拉晶炉,所述的拉晶炉具有炉腔,还有放置在炉腔中的拉晶管,所述的拉晶炉上具有磁极或电场,所述的炉腔就在磁场或电场中,拉晶时,先把粉末状的原料(半导体原料)放置在拉晶管中,拉晶管放置在拉晶炉中,原料在拉晶管中熔融、分子重新排列、凝固形成晶棒,这个过程就是拉晶,将晶棒切割就变成了小块的晶粒,小块的晶粒就能用来制造半导体制冷件,所以拉晶的过程关系到晶棒分子的排列,分子排列整齐有利于致冷件的质量效率和其他产品质量。
现有技术中,所述的拉晶管中没有帮助原料排列的引子,致使拉晶速度慢,拉晶效果较差。
发明内容
本发明的目的就是针对上述缺点,提供一种拉晶速度块,拉晶效果好的拉晶管——一种具有金属丝的拉晶管和拉晶炉。
本发明具有金属丝的拉晶管的技术方案是这样实现的,一种具有金属丝的拉晶管,包括拉晶管本体,所述的拉晶管本体具有侧壁,其特征是:所述的侧壁内具有金属丝。
进一步地讲,所述的金属丝是多根的,多根金属丝相互平行设置。
进一步地讲,所述的金属丝的长度方向平行或垂直拉晶管长度方向设置。
进一步地讲,当金属丝垂直拉晶管长度方向设置时,所述的金属丝是螺旋状或环形结构的。
进一步地讲,所述的金属丝是凝固在拉晶管本体内部的。
进一步地讲,所述的拉晶管本体是双层结构,分别是内层管和外层管,所述的金属丝在内层管和外层管之间。
进一步地讲,所述的内层管和外层管之间是真空的或负压状态的。
进一步地讲,所述的金属丝是镍线、钢丝、钼丝、金丝、银丝、铁丝等。
较好的,所述的金属丝是铁钴镍或其合金。
进一步地讲,所述的金属丝的截面是方形或圆形的结构。
进一步地讲,所述的金属丝的截面面积是0.2—0.5平方毫米。
本发明拉晶炉的技术方案是这样实现的,拉晶炉,包括拉晶炉本体,所述的拉晶炉本体具有炉腔,还有放置在炉腔中的拉晶管,所述的拉晶炉上具有磁极或电场,所述的炉腔就在磁场或电场中,其特征是:所述的拉晶管是上述技术特征的拉晶管。
本发明的有益效果是:这样的拉晶管和拉晶炉具有生产出的晶棒质地更加均匀、拉晶效果更好、品质更加优良的优点。
附图说明
图1是本发明第一种情况的纵剖面结构示意图。
图2是本发明第二种情况的纵剖面结构示意图。
图3是本发明第三种情况的纵剖面结构示意图。
图4是本发明第四种情况的纵剖面结构示意图。
图5是图1的A—A截面结构示意图。
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