[发明专利]一种混合粉末型吸气剂及其制备方法有效
申请号: | 202111417412.1 | 申请日: | 2021-11-25 |
公开(公告)号: | CN114160786B | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
发明(设计)人: | 李洋;杜昊瑾;郝红蕊;徐晓强;游梦园;郭德宇 | 申请(专利权)人: | 有研工程技术研究院有限公司 |
主分类号: | B22F1/06 | 分类号: | B22F1/06;B22F1/065;B22F9/02;B22F9/08;B22F3/02;B22F3/10;H01J9/39 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 混合 粉末 吸气 及其 制备 方法 | ||
本发明公开了一种混合粉末型吸气剂及其制备方法。该吸气剂由混合粉末经自动连续压制法制备而成,所述混合粉末是以金属钛粉为主的二元或多元吸气材料,所述钛粉占混合粉末总重量的百分比为50%≤mTi≤100%,所述钛粉由氢化脱氢钛粉和雾化法制备的球形钛粉组成,所述钛粉中氢化脱氢钛粉的质量百分比为5%≤m氢化脱氢Ti≤95%。将混合粉末通过自动连续压制设备批量制成压制坯;再通过真空烧结设备真空烧结得到最终吸气剂。本发明的吸气剂采用兼具成形性和流动性的吸气材料粉体通过粉末冶金技术制备而成,吸气性能优异。本发明采用自动连续压制技术,批量化生产吸气剂,制备出的吸气剂一致性强,生产效率高,满足了工业化需求。
技术领域
本发明涉及一种混合粉末型吸气剂及其制备方法,具体而言,利用一种兼具成型性和流动性的吸气材料粉体通过粉末冶金技术实现批量化制备电子真空器件,满足工业生产需求,属于电子真空器件领域以及粉末冶金制备技术领域。
背景技术
吸气剂广泛应用于电子真空器件中,依靠其在密闭环境中实现获取、提高腔体内真空度,可吸收残余活性气体以及对惰性气体提纯等特点,愈加得到电子真空领域的重视。该领域对吸气剂的需求也日益增加。现有制备吸气剂的技术普遍采用传统模压法压制而成,该方法多选用成型性较好的吸气材料粉体,产品一致性强,产品性能较好,但此方法的生产效率低,无法满足当今社会对吸气剂工业化生产的需求;此外自动连续压制吸气剂,多选用流动性好的吸气材料粉体,能够实现连续生产、生产效率高,但此粉体成型性差、压制坯结合力弱,压制坯合格率低,产品性能低、一致性差。
发明内容
本发明是基于上述现有技术而完成的,其目的在于提供一种混合粉末型吸气剂,该吸气剂利用兼具成型性和流动性的吸气材料粉体通过粉末冶金技术制备而成,性能优异。
本发明的另一个目的在于提供一种所述混合粉末型吸气剂的制备方法,采用自动连续压制技术,批量化生产吸气剂,基于前述特性的混合粉末型吸气材料粉体,制备出的吸气剂一致性强,生产效率高,产品性能优异,满足了工业化需求。
为实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种混合粉末型吸气剂,该吸气剂由混合粉末经自动连续压制法制备,所述混合粉末是以金属钛粉为主的二元或多元吸气材料,所述钛粉占混合粉末总重量的百分比mTi为50%≤mTi≤100%,所述钛粉由氢化脱氢钛粉和雾化法制备的球形钛粉组成,所述钛粉中氢化脱氢钛粉的质量百分比m氢化脱氢Ti为5%≤m氢化脱氢Ti≤95%。
优选地,所述钛粉中氢化脱氢钛粉的质量百分比m氢化脱氢Ti为20%≤m氢化脱氢Ti≤80%。
在本发明的混合粉末型吸气剂中,所述混合粉末中所采用的钛粉为成形性好的氢化脱氢钛粉(松装密度低、粉末不规则程度大)、以及雾化法制备的流动性好的球形钛粉(松装密度大、粉末规则程度大)混合而成的钛粉。将这两种不同属性的钛粉按照一定质量的混合比混合来作为主要成分,与其他吸气材料混合而获得混合粉末,采用自动连续压制法对该混合粉末进行压制,再进行真空烧结,从而获得本发明的混合粉末型吸气剂。
进一步地,所述氢化脱氢钛粉的松装密度ρ为0.70g/cm3≤ρ≤2.70g/cm3,优选为0.70g/cm3≤ρ≤1.70g/cm3。当氢化脱氢钛粉的松装密度超出给定范围,将降低压制坯的成形性。
进一步地,所述球形钛粉的松装密度ρ为0.70g/cm3≤ρ≤2.70g/cm3,优选为1.70g/cm3≤ρ≤2.70g/cm3。当球形钛粉的松装密度超出给定范围,将降低压制坯的流动性。
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