[发明专利]电容式真空规稳定性测试辅助装置及测试方法

权利要求书

1.在一种电容式真空规稳定性测试辅助装置，其特征在于，包括：

连接部，包括密封腔室和多个连接支路，多个所述连接支路并联设置、且第一端均与所述密封腔室连通，所述连接支路上设置有用于连接待测规的连接位、用于控制所述连接支路通断的第一截止阀和第二截止阀，所述连接位位于所述第一截止阀和所述第二截止阀之间，所述第一截止阀位于所述连接位与所述密封腔室之间；

第一真空泵组，用于对所述连接支路的内部进行抽真空操作；

第二真空泵组，用于在所述连接支路内的真空度达到第一目标值时对所述密封腔室进行抽真空操作；

气体回填系统，能够分别向所述密封腔室和所述连接支路回填气体，各个所述连接支路的第二端相互连通且与所述第一真空泵组和所述气体回填系统连接。

2.根据权利要求1所述的电容式真空规稳定性测试辅助装置，其特征在于，还包括烘烤系统，所述烘烤系统配置为对所述密封腔室和所述连接位进行加热。

3.根据权利要求1所述的电容式真空规稳定性测试辅助装置，其特征在于，所述气体回填系统包括用于向所述连接支路回填气体的第一回填支路和用于向所述密封腔室回填气体的第二回填支路；

所述第一回填支路与所述第一真空泵组均与所述连接支路的第二端连接，所述第一回填支路上设置有第三截止阀；

所述第二回填支路与所述第二真空泵组均与所述密封腔室连接，所述第二回填支路上设置有第四截止阀。

4.根据权利要求3所述的电容式真空规稳定性测试辅助装置，其特征在于，所述第一回填支路上设置有用于调节所述第一回填支路内的气体流量的第一调节阀；

所述第二回填支路上设置有用于调节所述第二回填支路内的气体流量的第二调节阀。

5.根据权利要求1所述的电容式真空规稳定性测试辅助装置，其特征在于，所述第一真空泵组包括第一干泵和分子泵，

所述分子泵的吸气口与所述连接支路的第二端连接，所述分子泵与所述连接支路之间设置有第五截止阀；

所述第一干泵的吸气口与所述连接支路的第二端连接，且与所述分子泵的旁抽口连接，所述第一干泵与所述连接支路之间设置有第六截止阀，所述第一干泵与所述分子泵之间设置有第七截止阀。

6.根据权利要求5所述的电容式真空规稳定性测试辅助装置，其特征在于，所述第一干泵与所述第六截止阀之间设置有用于调节气体流量的第三调节阀。

7.根据权利要求1所述的电容式真空规稳定性测试辅助装置，其特征在于，所述第二真空泵组包括第二干泵和低温泵，

所述低温泵的吸气口与所述密封腔室连接，所述低温泵与所述密封腔室之间设置有第八截止阀；

所述第二干泵的吸气口与所述密封腔室连接，且与所述低温泵的旁抽口连接，所述第二干泵与所述密封腔室之间设置有第九截止阀，所述第二干泵与所述低温泵之间设置有第十截止阀。

8.根据权利要求1所述的电容式真空规稳定性测试辅助装置，其特征在于，还包括用于检测所述连接支路内的真空度的第一真空计和用于检测所述密封腔室内的真空度的第二真空计。

9.根据权利要求2所述的电容式真空规稳定性测试辅助装置，其特征在于，所述烘烤系统包括第一加热带和第二加热带，所述第一加热带包覆在所述连接位的外部，所述第二加热带包覆在所述密封腔室的外部。

10.一种电容式真空规稳定性测试方法，其特征在于，基于如权利要求1-9任一项所述的电容式真空规稳定性测试辅助装置，所述电容式真空规稳定性测试方法包括：

将待测规一一安装在连接位上，并使所述待测规与真空规稳定性测试系统连接；

控制第一截止阀处于关闭状态、第二截止阀处于打开状态，利用第一真空泵组对所述连接支路进行抽真空操作，直至所述连接支路内的真空度达到第一目标值，控制所述连接支路与所述第一真空泵组之间处于截止状态，且控制所述第二截止阀处于关闭状态；

利用第二真空泵组对密封腔室进行抽真空操作；

所述密封腔室内的真空度达到第一目标值时，控制所述第一截止阀处于打开状态；

待所述连接支路和所述密封腔室内的真空度达到第二目标值时，利用所述真空规稳定性测试系统开始对所述待测规进行测试。