[发明专利]一种承载装置及气相外延设备

说明书

本发明提供一种承载装置及气相外延设备，属于半导体设备技术领域，该承载装置用于在前置真空腔室和反应腔室之间传输工件，前置真空腔室内设置有第一平移驱动机构，承载装置包括托盘组件、第二平移驱动机构和连接件；第二平移驱动机构设置在托盘组件的背面，第二平移驱动机构通过连接件可移动地设置在第一平移驱动机构中；并且，第一平移驱动机构驱动托盘组件沿第一方向平移，第二平移驱动机构驱动托盘组件沿第二方向平移，第一方向与第二方向不同。本发明的承载装置可使托盘组件在不同的方向平移，实现了反应腔室内维护所涉及工件的一次性进出，大大提高了工作效率，也降低了因多次进出而导致的工件破损的风险。

技术领域

本发明属于半导体设备技术领域，具体涉及一种承载装置及气相外延设备。

背景技术

随着气相外延设备在半导体行业的广泛应用，平日维护及操作涉及到前置真空腔室承载台操作的次数也越来越多。目前使用的气相外延设备的前置真空腔室内承载台装置较为简单，大多数都是直线导轨、托盘架及托盘组成。而这种承载装置在我们日常维护中就会显得捉襟见肘，通常需要来回循环多次才能完成反应腔室内工件的拆卸及安装工作，大大降低了工作效率。且托盘在操作过程中还会移位，加大了放置工件的难度。

因此，为了解决上述问题，有必要开发一种设计合理且可以有效改善上述问题的一种承载装置及气相外延设备。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种承载装置及气相外延设备。

本发明的一方面提供一种承载装置，用于在前置真空腔室和反应腔室之间传输工件，所述前置真空腔室内设置有第一平移驱动机构，所述承载装置包括托盘组件、第二平移驱动机构和连接件；

所述第二平移驱动机构设置在所述托盘组件的背面，所述第二平移驱动机构通过所述连接件可移动地设置在所述第一平移驱动机构中；并且，

所述第一平移驱动机构驱动所述托盘组件沿第一方向平移，所述第二平移驱动机构驱动所述托盘组件沿第二方向平移，所述第一方向与所述第二方向不同。

可选的，所述托盘组件包括相对间隔设置的第一托盘和第二托盘，所述第一托盘背面设置有所述第二平移驱动机构；

所述承载装置还包括至少一个竖直驱动机构，所述竖直驱动机构设置在所述第一托盘和所述第二托盘之间，以驱动所述第二托盘升降。

可选的，所述竖直驱动机构包括固定套筒和伸缩件；所述固定套筒设置在所述第一托盘朝向所述第二托盘的一侧，所述伸缩件的第一端可伸缩地设置在所述固定套筒中，所述伸缩件的第二端与所述第二托盘抵接。

可选的，所述竖直驱动机构还包括设置在所述固定套筒外周壁上的按钮；

在所述按钮处于按下状态时，所述伸缩件向靠近或远离所述固定套筒的方向移动；

在所述按钮处于复位状态时，所述伸缩件固定在所述固定套筒中。

可选的，所述托盘组件的外侧壁设置有第一卡接件，所述反应腔室外锁具外围设置有保护罩，所述保护罩上设置有第二卡接件，所述第一卡接件卡设在所述第二卡接件中。

可选的，所述第二卡接件包括设置在所述保护罩上的固定卡板以及通过第一铰链与所述固定卡板活动连接的扣板，所述扣板卡设在所述第一卡接件中。

可选的，所述承载装置还包括支撑组件，所述支撑组件可折叠地设置在所述托盘组件的背面；

在所述托盘组件位于所述前置真空腔室内侧时，所述支撑组件处于折叠状态；

在所述托盘组件位于所述前置真空腔室外侧时，所述支撑组件处于打开状态，以支撑所述托盘组件。