[发明专利]光阻层的加工方法、显示面板的制作方法以及显示面板

说明书

本申请实施例公开了一种光阻层的加工方法、显示面板的制作方法以及显示面板，通过对负性光阻层的第一曝光区域进行第一次曝光处理；对负性光阻层的第二曝光区域进行第二次曝光处理，第二曝光区域至少具有设于第一曝光区域的一侧且与第一曝光区域连接的部分，第一次曝光处理的曝光量大于第二次曝光处理的曝光量；对负性光阻层进行显影处理，去除未进行光反应的负性光阻层；对剩余的负性光阻层进行加热固化处理，得到底切结构。本申请通过对负性光阻层进行两次曝光处理和一次显影处理，即可制得底切结构，有效简化了底切结构的制作工艺，从而提高了生产效率。

技术领域

本申请涉及显示领域，具体涉及一种光阻层的加工方法、显示面板的制作方法以及显示面板。

背景技术

自主发光的有机发光二极管显示器(Organic Light-Emitting Diode，OLED)具有响应速度快、对比度高、视角广等优点，并且容易实现柔性显示，因而被普遍应用。OLED显示器极有可能成为下一代显示技术的主流产品。OLED显示面板结构包括透明阳极层，发光层和金属阴极层。为了增大顶发射的透过率，金属阴极的厚度较薄，造成方阻较大，电流压降(IR drop)严重，导致显示面板有明显的亮度不均匀现象，严重影响了OLED显示装置的显示效果。为改善面板显示亮度的不均匀性，可以架设辅助电极层，与较薄的金属阴极相连。由于辅助电极层的电阻较小，电流压降减小，通电时，使面板的阴极的阻抗和电流压降得到减小，亮度均匀性得到一定的改善。

对于如何实现辅助电极层和金属阴极搭接，通常采用在阴极和辅助电极层之间设置底切结构，底切结构通常需要通过两道黄光制程(曝光和显影)制得，制作工艺复杂，降低生产效率。

发明内容

本申请实施例提供一种光阻层的加工方法、显示面板的制作方法以及显示面板，可以解决底切结构的制作工艺复杂和生产效率低的技术问题。

本申请实施例提供一种光阻层的加工方法，包括：

步骤B1、形成负性光阻层；

步骤B2、对所述负性光阻层的第一曝光区域进行第一次曝光处理；

步骤B3、对所述负性光阻层的第二曝光区域进行第二次曝光处理，所述第二曝光区域至少具有设于所述第一曝光区域的一侧且与所述第一曝光区域连接的部分，所述第一次曝光处理的曝光量大于所述第二次曝光处理的曝光量；

步骤B4、对所述负性光阻层进行显影处理，去除未进行光反应的所述负性光阻层；

步骤B5、对剩余的所述负性光阻层进行加热固化处理，得到底切结构。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述第一曝光区域设于所述第二曝光区域内，所述第二曝光区域的面积大于所述第一曝光区域的面积。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述第一曝光区域和所述第二曝光区域部分重叠。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述第二曝光区域设于所述第一曝光区域的侧面，且所述第二曝光区域与所述第一曝光区域连接。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述第一次曝光处理的曝光时间大于所述第二次曝光处理的曝光时间。

可选的，在本申请的一些实施例中，在所述步骤B2中，还对所述负性光阻层的第三曝光区域进行第一次曝光处理，所述第一曝光区域和所述第三曝光区域间隔设置，所述第二曝光区域和所述第三曝光区域间隔设置；

在所述步骤B5中，所述负性光阻层对应所述第一曝光区域和所述第二曝光区域的部分形成所述底切结构，所述负性光阻层对应所述第三曝光区域的部分形成凸台结构。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述底切结构具有负坡度角，所述凸台结构具有正坡度角。

本申请实施例还提供一种显示面板的制作方法，包括：