[发明专利]一种在线光路镜片透光性能的远程检测装置

说明书

本发明公开了一种在线光路镜片透光性能的远程检测装置，包括激光光源和光束汇聚装置组成，在所述激光光源和光束汇聚装置之间还设有同轴分布的镀膜分光镜，光束汇聚装置设在所述镀膜分光镜的透射光路中，光强传感器设在所述镀膜分光镜的分光光路中，所述光强传感器的信号输出端通过数据线连接运算单元。因为污染物主要是聚集在聚焦镜片附近，本申请将分光镜设置在聚焦镜后方的清洁的光路之内，同时将检测单元的传感器设置在远离灰尘的工作空间，起到延长使用寿命、延长保养周期、提升工作精度的效果。

技术领域：

本发明属于技术领域，特别涉及一种在线光路镜片透光性能的远程检测装置。

背景技术：

激光打孔正在被越来越多的应用，然而，打孔过程中被穿孔物体的气化、造成气化物质的喷射，不可避免地会造成离被穿孔物体最近的聚焦镜片或者物镜表面的污染，尽管，采用了高压吹气进行镜片表面的清洁或者维持空间内一定的正压以防止污染物进入镜片空间，但是，物镜被污染总是客观存在的，需要定期的维护。由于，频繁的镜片檫试既浪费了生产时间增加维护工作量，特别是镜片还没有被污染情况下进行保养，也会破坏镜片的镀层，缩短镜片的寿命。

本公司的中国专利201810341183.1揭示一种通过对烟支或者烟纸在激光打孔过程中的火焰成像判别检测来间接地反映成孔情况的装置，其安装在激光和烟纸/烟支交汇处的一侧，该设备还包括：球面透镜，装配于烟纸/烟支和高速影像传感器之间；高速影像传感器，装配于球面透镜出射光路中与其组成转换光路；采集装置，将传送过来的图像转化为量化的特征参数；逻辑控制及信号输出装置，该装置虽然能够通过穿孔火焰反映出聚焦镜片或者物镜的状况，但是其安装空间狭小，灰尘大，球面透镜和高速影像传感器容易脏，操作、使用、维护并不方便，限制了该装置的使用效率，降低了工作精度。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本发明的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

发明内容：

本发明的目的在于提供一种在线光路镜片透光性能的远程检测装置，从而克服上述现有技术中的缺陷。

为实现上述目的，本发明提供了一种在线光路镜片透光性能的远程检测装置，激光光源、镀膜分光镜和物镜/聚焦透镜组成，在所述激光光源和物镜/聚焦透镜之间还设有沿光轴设置的镀膜分光镜，分光镜与主光源同轴设置，以及外围光学元件少，所以光路简单实用，同时能够检测光路中镜片的磨损或者污染情况，能有效防止因镜片失效问题造成产品质量的降低。物镜/聚焦透镜设在所述镀膜分光镜的透射光路中，光强传感器设在所述镀膜分光镜的分光光路中，光强传感器的信号输出端通过数据线连接运算单元，有利于智能化的设备维护，实现穿孔装置的智能化，减少设备维护工作量。

所述激光光源发出的激光光束，沿光路的光轴方向传输，透射穿过镀膜分光镜，再经过物镜/聚焦透镜后聚焦在被穿孔物体表面，并产生烧灼的火焰；

该发散的火焰反射光，进入物镜/聚焦透镜，经过物镜/聚焦透镜汇聚后形成几乎平行于光路光轴的反射光束在光路中逆向传输，到达镀膜分光镜后，被镀膜分光镜反射，进入镀膜分光镜的分光光路中，有光强传感器感知该反射光的强度。

因为污染物主要是聚集在聚焦镜片附近，本申请将分光镜设置在聚焦镜后方的清洁的光路之内，同时将检测单元的传感器设置在远离灰尘的工作空间，起到延长使用寿命、延长保养周期、提升工作精度的效果，

优选地，上述技术方案中，分光镜与主光轴的偏斜角度为15°-75°。

优选地，上述技术方案中，分光镜与主光轴的偏斜角度为45°。

优选地，上述技术方案中，镀膜分光镜对应激光入射一侧的面上镀有透射膜层，所述透射膜层对激光光源发出激光光束的波长表现为完全穿透的性能；所述镀膜分光镜对应分光光路一侧的面上镀有反射膜层，所述反射膜层对火焰光的光束波长表现为反射的性能；所述火焰光为激光灼烧打孔物体产生的火焰。