[发明专利]一种在线光路镜片透光性能的远程检测装置

权利要求书

1.一种在线光路镜片透光性能的远程检测装置，包括激光光源、镀膜分光镜和物镜/聚焦透镜组成，物镜/聚焦透镜之间还设有沿光轴设置的镀膜分光镜，物镜/聚焦透镜设在所述镀膜分光镜的透射光路中，光强传感器设在所述镀膜分光镜的分光光路中，所述光强传感器的信号输出端通过数据线连接运算单元。

2.所述激光光源发出的激光光束，沿光路的光轴方向传输，透射穿过镀膜分光镜，再经过物镜/聚焦透镜后聚焦在被穿孔物体表面，并产生烧灼的火焰；

该发散的火焰反射光，进入物镜/聚焦透镜，经过物镜/聚焦透镜汇聚后形成几乎平行于光路光轴的反射光束在光路中逆向传输，到达镀膜分光镜后，被镀膜分光镜反射，进入镀膜分光镜的分光光路中，有光强传感器感知该反射光的强度。

3.根据权利要求1所述的在线光路镜片透光性能的远程检测装置，其特征在于：所述分光镜与主光轴的偏斜角度为15°-75°。

4.根据权利要求2所述的在线光路镜片透光性能的远程检测装置，其特征在于：所述分光镜与主光轴的偏斜角度为45°。

5.根据权利要求1-3任一权利要求所述的在线光路镜片透光性能的远程检测装置，其特征在于：所述镀膜分光镜对应激光入射一侧的面上镀有透射膜层，所述透射膜层对激光光源发出激光光束的波长表现为完全穿透的性能；

所述镀膜分光镜对应分光光路一侧的面上镀有反射膜层，所述反射膜层对火焰光的光束波长表现为反射的性能；所述火焰光为激光灼烧打孔物体产生的火焰。

6.根据权利要求3所述的在线光路镜片透光性能的远程检测装置，其特征在于：所述分光镜对应分光光路一侧的面上镀有反射膜层，所述反射膜层对火焰光的光束波长表现为反射的性能同时对激光光源发出光束的波长表现为完全穿透的性能。

7.根据权利要求1所述的在线光路镜片透光性能的远程检测装置，其特征在于：所述光强传感器的敏感波长为对火焰光的主要能量所在光的波长的光强传感器。

8.根据权利要求1所述的在线光路镜片透光性能的远程检测装置，其特征在于：所述镀膜分光镜的分光光路中还设有辅助透镜，用于对几乎平行于光轴传输的火焰反射光进行汇聚，所述光强传感器位于辅助透镜汇聚光的一侧。

9.一种在线光路镜片透光性能的检测装置对应的方法：其特征在于：包括如下步骤：

确定火焰光的光强参考值：

①在确认物镜/聚焦镜没有被污染的情况下，按照正常操作流程完成打孔参数的设定后，并使得打孔装置处运行中；

②测量此时火焰光强值，沿光轴左右移动光强传感器或者辅助透镜，使得获得的值最大；

③固定各辅助透镜、光强传感器的位置后，检测获得的最大值此作为光强参考值Vf；

打孔装置处运行中，持续测量运行中火焰的光强值V，

与光强参考值进行比对，得绝对值 |V-Vf| ，

偏差=|V-Vf|/Vf，

若偏差=|V-Vf|/Vf≤0.1-0.2，则不进行报警显示；

若偏差=|V-Vf|/Vf0.1-0.2，则说明分光镜至物镜之间光路中的镜片或者损坏、或者表面镀膜磨损、或者表面不洁，造成多激光光源能量的损失，使得打孔或处理的激光功率下降，进而形成的火焰减小，反射回的光强也较小，进而进行报警显示。