[发明专利]半自动真空抛光头贴片机有效
申请号: | 202111324506.4 | 申请日: | 2022-01-18 |
公开(公告)号: | CN114147610B | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
发明(设计)人: | 汪佳;陈冬冬;王慧;王建军;孙固;王晓明;沈文雷;钱焰 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/22;B32B37/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半自动 真空 抛光 头贴片机 | ||
1.半自动真空抛光头贴片机,其特征在于,所述贴片机包括:
真空贴片箱,所述真空贴片箱的内腔为真空密封腔体;
下柜体;
下模组组件,所述下模组组件上放置有支撑片;
上模组组件,所述上模组组件上安装抛光头,所述上模组组件和下模组组件上下同轴设置于真空贴片箱内;所述上模组组件包括上模板,所述上模板呈圆形板状,所述上模板下方设有圆形台阶,所述圆形台阶与抛光头相适应,所述上模板通过圆形台阶套接抛光头,并通过螺栓进一步将上模板和抛光头螺纹固定,所述上模板上部通过旋合安装上模组卡爪,所述上模组卡爪具有不少于两个的圆周均匀分布的卡爪,每个所述卡爪的中部均径向安装有球形柱塞,所述球形柱塞采用自锁式球形柱塞,所述上模板的上表面中心处开设卡爪槽,所述卡爪槽的上表面固定安装有圆环状的限位板,所述限位板的内圆向内延伸形成与卡爪相对应的卡爪限位片,每个卡爪限位片的中部分别径向开设一个柱塞孔,所述柱塞孔与球形柱塞相适应,所述限位板内侧形成的孔与上模组卡爪相适应;
真空组件,所述真空组件安装于下柜体中,所述真空组件与真空贴片箱连通,所述真空组件用于对真空贴片箱抽真空;
动力组件,用于为上模组组件上下运动提供动力,所述动力组件与上模组组件连接;
定位系统,所述定位系统包括定位组件,所述定位组件用于对下模组组件进行定位以调整所述下模组组件相对上模组组件的同轴度,所述定位系统还包括导向轴,所述导向轴有两个,两个所述导向轴对称位于上模板的左右两侧;
所述下模组组件包括支撑台,所述支撑台上放置有支撑片,所述支撑台包括从下到上依次设置的底盘、缓冲垫片和内承台,所述底盘、缓冲垫片和内承台的中心轴线在一条直线上,所述底盘在缓冲垫片和内承台的外侧套设外压盘,所述外压盘呈圆环状,所述内承台高出外压盘,所述内承台高出外压盘的部分与支撑片的圆形凹槽相适应,所述支撑片通过其中心的圆形凹槽套接在内承台上,
所述定位组件包括限位块,所述限位块有多个,多个所述限位块圆周均匀位于外压盘的外侧,所述限位块的顶丝对外压盘进行顶紧;
或者,
所述下模组组件包括贴片盘,所述贴片盘内放置有支撑片,所述贴片盘的内侧壁上部呈从上到下孔径逐渐缩小的喇叭状,所述贴片盘的侧壁圆周均匀开设2-6个缺口,所述贴片盘底部与支撑片之间设有弹性垫,所述弹性垫上表面设有与支撑片的圆形凹槽相匹配的台阶,
所述定位组件包括定位板,所述真空贴片箱在贴片盘后侧螺纹固定定位板,所述定位板靠近贴片盘的一侧呈V形,所述定位板的V形尖角处呈圆角,所述定位板的V形一侧与贴片盘相切设置。
2.如权利要求1所述的半自动真空抛光头贴片机,其特征在于,所述真空组件包括真空泵,所述真空泵通过管道连通至真空贴片箱内;
所述动力组件包括气缸,所述气缸安装于真空贴片箱上表面中心处,所述气缸的活塞杆向下伸入至真空贴片箱内,所述气缸的活塞杆端部通过浮动接头固定上模组组件。
3.如权利要求1所述的半自动真空抛光头贴片机,其特征在于,所述上模板的左右两侧对称一体连接挂耳,所述上模板通过其左右两侧的挂耳与导向轴滑动连接。
4.如权利要求1-3任一项所述的半自动真空抛光头贴片机,其特征在于,所述真空贴片箱和下柜体采用上下一体设置,或者,
所述真空贴片箱和下柜体分体设置,所述真空贴片箱放置于工具桌或车间台架上,所述下柜体放置于地面上。
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