[发明专利]基板传输装置及传输方法

权利要求书

1.一种基板传输装置，其特征在于，包括：

机械臂；

承载组件，所述承载组件包括承载底板，所述承载底板与所述机械臂连接，所述承载底板具有与所述机械臂连接的第一端和与所述第一端相对的第二端，所述第一端和所述第二端的上表面均设有纵向基板卡合部；

其中，所述纵向基板卡合部具有第一倾斜面和与所述第一倾斜面连接且用于承放基板的第一承放面，位于所述第一端的所述纵向基板卡合部和所述第二端的所述纵向基板卡合部相对设置以形成用于承放基板的卡槽。

2.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述第一倾斜面与所述第一承放面之间形成75°～85°夹角；和/或

所述第一承放面的高度高于所述承载底板的高度。

3.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述承载组件还包括：

多个承载爪，多个所述承载爪分别间隔连接于所述承载底板的两侧，所述承载爪具有与所述承载底板连接的连接端和与所述连接端相对的自由端，所述自由端朝向所述承载底板的外侧延伸。

4.根据权利要求3所述的基板传输装置，其特征在于，所述承载爪的所述自由端的上表面设有横向基板卡合部，位于所述承载底板两侧的所述承载爪上的所述横向基板卡合部相对设置以形成用于承放基板的卡槽。

5.根据权利要求4所述的基板传输装置，其特征在于，所述横向基板卡合部包括相连接的第二倾斜面和第二承放面，所述第二倾斜面与所述第二承放面之间形成75°～85°夹角；和/或

所述第二承放面的高度高于所述承载爪的高度，且所述第二承放面的高度与所述第一承放面的高度齐平。

6.根据权利要求3所述的基板传输装置，其特征在于，所述承载底板和/或所述承载爪上设有静电消除组件，所述静电消除组件包括支撑弹簧和支撑钢球，所述支撑弹簧设于所述承载底板和/或所述承载爪上，所述支撑钢球与所述支撑弹簧的上端连接。

7.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述机械臂包括：

伸缩机构，与所述承载组件连接，以驱动所述承载组件在水平面内伸出或缩回；

旋转机构，与所述伸缩机构连接，以驱动所述伸缩机构在水平面内移动；及

升降机构，与所述旋转机构连接，以驱动所述旋转机构上升或下降。

8.根据权利要求7所述的基板传输装置，其特征在于，所述升降机构包括：

基座；及

升降臂，可升降地安装于所述基座上，所述升降臂的上端与所述旋转机构连接。

9.根据权利要求8所述的基板传输装置，其特征在于，所述旋转机构包括：

第一旋转臂，所述第一旋转臂的一端与所述升降臂的上端连接；

第二旋转臂，与所述第一旋转臂的另一端铰接，所述第二旋转臂能够相对于所述第一旋转臂水平转动；及

第三旋转臂，与所述第二旋转臂远离所述第一旋转臂的一端铰接，所述第三旋转臂能够相对于所述第二旋转臂水平转动；

其中，所述第一旋转臂与所述第二旋转臂的铰接处、所述第二旋转臂与所述第三旋转臂的铰接处分别设置有旋转伺服机构。

10.根据权利要求9所述的基板传输装置，其特征在于，所述伸缩机构包括：

支撑升降旋转臂，与所述第三旋转臂连接，所述支撑升降旋转臂能够相对于所述第三旋转臂升降和在水平面内旋转；

伸缩臂，所述伸缩臂的一端与所述支撑升降旋转臂远离所述第三旋转臂的一端连接，所述伸缩臂的另一端与所述承载底板连接，所述伸缩臂能够相对于所述支撑升降旋转臂在水平面内伸缩；及

承载旋转机构，设于所述承载底板与所述伸缩臂之间，所述承载旋转机构能够驱动所述承载底板绕其自身的纵向轴线旋转。

11.根据权利要求1至10任一项所述的基板传输装置，其特征在于，所述承载底板上设有基板吸盘。

12.一种基板传输方法，其特征在于，采用权利要求1至11任一项所述的基板传输装置，包括如下步骤：

所述的基板传输装置接收传输基板的信号；

所述机械臂根据所述传输基板的信号将所述承载组件移动至待传输的基板下方；

所述机械臂驱动所述承载组件向上运动，使所述基板落在所述承载底板上的所述卡槽内，并通过所述卡槽将所述基板进行卡合定位；

所述机械臂驱动所述承载组件动作，将所述基板取出。