[发明专利]双压力传感器

权利要求书

1.一种被配置成用于监测压力传感器组件(110)的干扰的控制器(120)，

所述压力传感器组件(110)包括至少两个传感器(112、114)，其中所述传感器(112、114)被配置成用于测量压力，并且其中所述至少两个传感器(112、114)具有传感器相关的针对所述压力的测量灵敏度Sm，并且所述传感器(112、114)中的至少一个传感器对具有传感器相关的干扰灵敏度Sd的干扰敏感，其中对于所述至少两个传感器(112、114)，所述测量灵敏度和所述干扰灵敏度的比率Sm/Sd是不同的，

所述控制器(120)被配置成用于通过比较所述至少两个传感器的输出来检测所述干扰。

2.一种用于测量压力的传感器系统(100)，所述传感器系统(100)包括：

-压力传感器组件(110)，包括至少两个传感器(112、114)，其中所述传感器(112、114)被配置成用于测量所述压力，并且其中每个传感器(112、114)具有传感器相关的针对所述压力的测量灵敏度Sm，并且所述传感器中的至少一个传感器对具有传感器相关的干扰灵敏度Sd的干扰敏感，其中对于所述至少两个传感器(112、114)，所述测量灵敏度和所述干扰灵敏度的比率Sm/Sd是不同的，

-根据权利要求1所述的控制器(120)，被配置成用于监测所述压力传感器组件(110)的干扰。

3.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中所述传感器(112、114)在同一衬底上制成。

4.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中所述传感器(112、114)使用所述相同的感测原理。

5.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中所述传感器(112、114)针对所述压力具有不同的灵敏度。

6.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中至少一个传感器(112、114)对所述干扰基本不敏感。

7.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中所述干扰由机械应力引起。

8.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中所述干扰由所述压力传感器组件(110)中的电荷或由通过所述压力传感器组件(110)的泄漏电流引起。

9.根据权利要求8所述的传感器系统(100)，其中所述传感器系统被配置成用于对所述至少两个传感器(112、114)具有不同的供电电压。

10.根据权利要求8所述的传感器系统(100)，其中所述传感器系统被配置成用于对于所述两个传感器(112、114)中的至少一个传感器仅在部分时间施加供电电压，使得在其间施加电压的供电持续时间对于所述至少两个传感器(112、114)是不同的。

11.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中所述传感器系统被配置成用于交换所述传感器中的至少一个传感器的供电电压。

12.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中所述传感器(112、114)被提供在一个或多个膜上。

13.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中所述传感器(112、114)是压电电阻器。

14.根据权利要求2所述的传感器系统(100)，其中所述传感器(112、114)包括应变计。

15.一种用于监测传感器组件的干扰的方法(200)，所述方法包括：-测量(210)至少两个传感器的输出，其中所述传感器(112、114)被配置成用于测量压力，并且其中所述至少两个传感器(112、114)具有传感器相关的针对所述压力的测量灵敏度Sm，并且所述传感器(112、114)中的至少一个传感器对具有传感器相关的干扰灵敏度Sd的干扰敏感，其中针对所述至少两个传感器(112、114)，所述测量灵敏度和所述干扰灵敏度的比率Sm/Sd是不同的，

-通过比较所述至少两个传感器的所述输出来检测(220)所述干扰。