[发明专利]一种激光表面清洗机

权利要求书

1.一种激光表面清洗机，其特征在于，包括激光发生器(1)、振镜(3)和聚焦镜(4)，其中：

激光发生器(1)，用于向振镜(3)发射具有一定发散角的激光；

振镜(3)，用于接收激光发生器(1)发射的激光，将该激光反射给聚焦镜(4)；

聚焦镜(4)，用于接收振镜(3)反射的激光，将该激光以恒定高度聚焦在工件(5)的表面上，形成清洗光斑。

2.如权利要求1所述的一种激光表面清洗机，其特征在于，还包括有带动振镜(3)不断振动的振镜机构(2)。

3.如权利要求1所述的一种激光表面清洗机，其特征在于，所述聚焦镜(4)为非球面凸透镜，其S1和S2面的面型公式为：

其中：z是以垂直于光轴且经过透镜光学中心的平面为参考面，垂直方向上距离光轴为r处沿光轴方向的位移值；

c是曲率半径；

r为镜片高度；

k为圆锥定数；

α_i为第i次的非球面系数。

4.如权利要求3所述的一种激光表面清洗机，其特征在于，

对于S₁面，其参数为：

k＝-4.073532；

α₁＝-0.013458；α₂＝-6.843E-5；α₃＝-2.378E-7。

5.如权利要求3所述的一种激光表面清洗机，其特征在于，

对于S₂面，其参数为：

k＝2.589903；

α₁＝-7.508E-3；α₂＝-1.756E-5；α₃＝-2.687E-8。