[发明专利]一种基于DMD和线型微镜阵列的光谱成像系统及方法有效
申请号: | 202111251319.8 | 申请日: | 2021-10-27 |
公开(公告)号: | CN114112039B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 虞益挺;董雪;苏扬 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学宁波研究院 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/02;G01N21/31;G01N21/01 |
代理公司: | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人: | 高瑞霞 |
地址: | 315000 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 dmd 线型 阵列 光谱 成像 系统 方法 | ||
1.一种基于DMD和线型微镜阵列的光谱成像系统,其特征在于:包括目标(1)、成像子系统(2)、DMD工作面(3)、位于DMD工作面(3)上的若干个微镜扫描单元(3-0)、线型微镜阵列(4)、固定点M(5)、分光子系统(6)以及探测器工作面(7),所述线型微镜阵列(4)包括若干个线型微镜单元(4-0),所述线型微镜单元(4-0)的数量与所述微镜扫描单元(3-0)的数量相同,其中:
所述目标(1)和成像子系统(2)分别位于DMD工作面(3)的物面处和像面处,目标(1)经过成像子系统(2)所成的目标(1)像被DMD工作面(3)的微镜扫描单元(3-0)按列划分;
所述线型微镜阵列(4)位于所述DMD工作面(3)上每个微镜扫描单元(3-0)处于偏转工作状态时的光线的出射方向上,所述DMD工作面(3)上每个微镜扫描单元(3-0)处于偏转工作状态时必须将对应列的目标(1)像反射至线型微镜阵列(4)中对应的线型微镜单元上,且经过DMD工作面(3)上每个微镜扫描单元(3-0)中心的光线同样经过线型微镜阵列(4)中对应的线型微镜单元(4-0)中心;
通过改变线型微镜阵列(4)中每个线型微镜单元(4-0)的偏转角度,使经过每个线型微镜单元(4-0)中心的出射光线会聚到固定点M(5),进入到分光子系统(6)中;
进入分光子系统(6)的光线经过准直、色散和聚焦,最终获得的色散光谱成像在探测器工作面(7)的同一位置。
2.根据权利要求1所述的一种基于DMD和线型微镜阵列的光谱成像系统,其特征在于:所述成像子系统(2)为望远镜头、或显微镜头。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的一种基于DMD和线型微镜阵列的光谱成像系统,其特征在于:DMD工作面(3)由DMD微镜阵列构成,DMD微镜阵列的列数和行数分别为a和b,每个DMD微镜阵列由若干个微镜扫描单元(3-0)构成,每个微镜扫描单元(3-0)包含m列微镜,每列微镜的宽度为d,每列微镜扫描单元(3-0)的宽度为md,且满足;每列微镜都只具有偏转角度相同、方向相反的正、负两种偏转状态,选择其中一种偏转状态作为“ON”工作状态,处于该状态下的微镜扫描单元(3-0)会将选中的目标(1)像反射到线型微镜阵列(4)上;另一种偏转状态作为“OFF”状态,处于该状态下的微镜扫描单元(3-0)负责将选中的目标(1)像反射到光谱成像系统外。
4.根据权利要求1所述的一种基于DMD和线型微镜阵列的光谱成像系统,其特征在于:线型微镜阵列(4)为基于MEMS技术的长条形扫描微镜阵列。
5.根据权利要求1所述的一种基于DMD和线型微镜阵列的光谱成像系统,其特征在于:所述分光子系统(6)包括准直元件、色散元件和聚焦元件。
6.根据权利要求1所述的一种基于DMD和线型微镜阵列的光谱成像系统,其特征在于:所述探测器工作面(7)位于分光子系统(6)的像面位置,用于采集分光子系统(6)出射的色散光谱。
7.一种基于DMD和线型微镜阵列的光谱成像方法,其特征在于:该方法包括下列步骤:
步骤1:控制DMD工作面(3)上的第1个微镜扫描单元(3-0)和对应的线型微镜阵列(4)的第1个线型微镜单元(4-0)同时处于“ON”工作状态,DMD工作面(3)上其余的微镜扫描单元(3-0)和线型微镜阵列(4)的其余线型微镜单元(4-0)处于“OFF”状态,第1列目标像的光线先后被第1个微镜扫描单元(3-0)和第1个线型微镜单元(4-0)反射,然后会聚到固定点M(5)进入分光子系统(6)中,得到的色散光谱会聚在探测器工作面(7)上,探测器工作面(7)记录并存储此时的色散光谱图,第1个微镜扫描单元(3-0)和第1个线型微镜单元(4-0)的偏转工作结束,完成了第1列目标像的光谱成像;
步骤2:控制DMD工作面(3)的第2个微镜扫描单元(3-0)和对应的线型微镜阵列(4)的第2个线型微镜单元(4-0)同时处于“ON”工作状态,其他微镜扫描单元(3-0)和其他线型微镜单元(4-0)处于“OFF”状态,第2列目标像的光线先后被第2个微镜扫描单元(3-0)和第2个线型微镜单元(4-0)反射,最后由固定点M(5)进入到分光子系统(6)中,得到的色散光谱会聚在探测器工作面(7)上,探测器工作面(7)记录并存储此时的色散光谱图,第2个微镜扫描单元(3-0)和第2个线型微镜单元(4-0)的偏转工作结束,完成了第2列目标像的光谱成像;
步骤3:分别控制DMD工作面(3)的第3、4……2N个微镜扫描单元(3-0)和对应的线型微镜阵列(4)的第3、4……2N个线型微镜单元(4-0)按顺序同时处于“ON”工作状态,探测器工作面(7)同步记录并存储相应的色散光谱图,完成第3、4……2N列目标像的光谱成像;
步骤4:控制DMD工作面(3)的第2N+1个微镜扫描单元(3-0)和对应的线型微镜阵列(4)的第2N+1个线型微镜单元(4-0)同时处于“ON”工作状态,其他微镜扫描单元(3-0)和其他线型微镜单元(4-0)处于“OFF”状态,第2N+1列目标像的光线先后被第2N+1个微镜扫描单元(3-0)和第2N+1个线型微镜单元(4-0)反射,最后由固定点M(5)进入到分光子系统(6)中,得到的色散光谱会聚在探测器工作面(7),探测器工作面(7)记录并存储此时的色散光谱图,第2N+1个微镜扫描单元(3-0)和第2N+1个线型微镜单元(4-0)的偏转工作结束,完成了第2N+1列目标像的光谱成像;
步骤5:对探测器工作面(7)采集到的2N+1幅色散光谱图进行数据处理,得出目标(1)的二维空间景象和一维光谱信息,即完整的三维数据立方体。
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