[发明专利]一种六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法

权利要求书

1.一种六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法，其特征在于，六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法所用检测设备包括：快插接头（1）、减压阀（2）、流量计（3）、第一开关阀（4）、第二开关阀（7）、飞行时间质谱仪（5）和离子迁移谱（6）；

所述快插接头（1）的一端与高压电气设备接口连接，出口端与减压阀（2）的一端相连接；所述减压阀（2）的另一端与流量计（3）相连，所述流量计（3）出口分别连接第一开关阀（4）、第二开关阀（7），所述第一开关阀（4）和第二开关阀（7）并联；所述第一开关阀（4）的另一端连接飞行时间质谱仪（5）的进样口，所述第二开关阀（7）的另一端连接离子迁移谱（6）的进气口；

所述飞行时间质谱仪（5）和离子迁移谱（6）并联；所述飞行时间质谱仪（5）对六氟化硫分解产物进行监测；所述离子迁移谱（6）对六氟化硫气体的纯度进行监测；所述飞行时间质谱仪（5）和离子迁移谱（6）分别单独进行监测；所述离子迁移谱（6）的分析速度快，用以对待测设备进行快速筛查，当待测设备发现问题时，再采用飞行时间质谱仪（5）对六氟化硫分解产物进行监测。

2.根据权利要求1所述的一种六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法，其特征在于，所述离子迁移谱（6）的工作参数为：离子源为：真空紫外光电离源，漂移区电压250～350V/ cm，迁移气流量：450～500mL/ min，载气流量：250～300mL/ min，进样口温度：120℃～135℃，迁移管温度：55～60℃。

3.根据权利要求2所述的一种六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法，其特征在于，所述离子迁移谱（6）的工作参数为：离子源为：真空紫外光电离源，漂移区电压280～350V/ cm，迁移气流量：470～500mL/ min，载气流量：280～300mL/ min，进样口温度：125℃～135℃，迁移管温度：58～60℃。

4.根据权利要求2所述的一种六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法，其特征在于，所述离子迁移谱（6）的载气为氮气和氦气的混合气，氮气和氦气的混合气中氮气和氦气的体积比为3.5～5.5:1。

5.根据权利要求2所述的一种六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法，其特征在于，所述离子迁移谱（6）的进样量为1～10μL。

6.根据权利要求1所述的一种六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法，其特征在于，所述飞行时间质谱仪（5）的工作参数为：负离子全扫描模式，毛细管电压3500V；干燥气温度280～300℃，干燥气流速12～14L/min；雾化气压力38～40psig；鞘气温度280～290℃，鞘气流速13～15L/min；质量扫描范围m/z 40～800。

7.根据权利要求6所述的一种六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法，其特征在于，所述飞行时间质谱仪（5）的工作参数为：负离子全扫描模式，毛细管电压3500V；干燥气温度290～300℃，干燥气流速13～14L/min；雾化气压力39～40psig；鞘气温度285～290℃，鞘气流速14～15L/min；质量扫描范围m/z 40～800。

8.根据权利要求1所述的一种六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1，高压电气设备内部的六氟化硫气体样品依次经过快插接头（1）、减压阀（2）、流量计（3）；

步骤S2，流量计（3）中的六氟化硫气体样品分别流经第一开关阀（4）、第二开关阀（7）；

步骤S3，流经第一开关阀（4）的六氟化硫气体样品送入飞行时间质谱仪（5），流经第二开关阀（7）的六氟化硫气体样品送入离子迁移谱（6）；

所述离子迁移谱（6）的工作参数为：进样量为1～10μL，离子源为：真空紫外光电离源，漂移区电压250～350V/ cm，迁移气流量：450～500mL/ min，载气流量：250～300mL/ min，进样口温度：120℃～135℃，迁移管温度：55～60℃；其中，载气为氮气和氦气的混合气，氮气和氦气的混合气中氮气和氦气的体积比为3.5～5.5:1；

所述飞行时间质谱仪（5）的工作参数为：负离子全扫描模式，毛细管电压3500V；干燥气温度280℃，干燥气流速12L/min；雾化气压力40psig；鞘气温度290℃，鞘气流速15L/min；质量扫描范围m/z 40～800。