[发明专利]一种用于溅射涂层的多角度旋转平台及磁控溅射装置

权利要求书

1.一种用于溅射涂层的多角度旋转平台，用于磁控溅射装置，其特征在于，包括：第一外壳(1)；所述第一外壳(1)内安装有第一旋转组件；所述第一外壳(1)顶部固定安装有第一中心齿轮(2)；所述第一中心齿轮(2)通过第一中心轴(3)安装在所述磁控溅射装置内，且所述第一中心齿轮(2)绕所述第一中心轴(3)自转；

第二外壳；所述第二外壳内安装有第二旋转组件；所述第二外壳顶部与所述第一外壳(1)固定连接；所述第一旋转组件与第二旋转组件转动连接；

旋转臂组件；旋转臂组件与所述第二旋转组件转动连接；且所述旋转臂组件两端还与所述第二外壳两端通过固定件(4)固定连接；所述旋转臂组件底端与样品台同轴连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于溅射涂层的多角度旋转平台，其特征在于：所述第一外壳(1)为空心圆柱状结构；所述第一旋转组件包括第二中心齿轮(11)；所述第二中心齿轮(11)中心通过所述第一中心轴(3)与所述第一中心齿轮(2)同步转动；所述第二中心齿轮(11)设置于所述第一外壳(1)顶部区域；

所述第二中心齿轮(11)一侧啮合有行星齿轮(12)；所述行星齿轮(12)中心安装于第二中心轴(31)一端；所述第二中心轴(31)竖直设置；所述第二中心轴(31)底端安装有第一圆锥齿轮(13)；所述第一圆锥齿轮(13)与第二圆锥齿轮(14)啮合；所述第二圆锥齿轮(14)设置于所述第一圆锥齿轮(13)正下方，所述第二圆锥齿轮(14)安装于第三中心轴(32)一侧；

所述第三中心轴(32)水平设置，且两端通过轴承安装于所述第一外壳(1)侧壁；所述第三中心轴(32)贯穿所述第一外壳(1)的竖直中轴线；所述第三中心轴(32)中部还固定安装有第一旋转轮(15)；所述第一旋转轮(15)与所述第二中心齿轮(11)互相垂直；所述第一旋转轮(15)与所述第二旋转组件转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于溅射涂层的多角度旋转平台，其特征在于：所述第二外壳由上连接壳(21)，下连接壳(22)和连接盘(23)组合成型；所述上连接壳(21)顶部固定有所述连接盘(23)；所述连接盘(23)与所述第一外壳(1)尺寸形状适配；所述连接盘(23)固定安装于所述第一外壳(1)底面；

所述上连接壳(21)底部与所述下连接壳(22)连接端面开设有轴安装槽(24)；所述轴安装槽(24)内安装有所述第二旋转组件；所述上连接壳(21)与下连接壳(22)连接端面两相对端还延伸开设有安装块(25)；所述安装块(25)为半圆柱体结构，同侧两所述安装块(25)组合成型为一圆柱体结构；所述旋转臂组件两端分别转动安装在两侧所述安装块(25)上。

4.根据权利要求3所述的一种用于溅射涂层的多角度旋转平台，其特征在于：所述上连接壳(21)，下连接壳(22)和连接盘(23)中心开设有方形通槽；所述第二旋转组件包括第四中心轴(33)；所述第四中心轴(33)中部安装有第二旋转轮(26)；所述第二旋转轮(26)置于所述方形通槽内；

所述第二旋转轮(26)与所述第一旋转组件的第一旋转轮(15)相啮合；所述第二旋转轮(26)还与所述旋转臂组件转动连接；所述第四中心轴(33)转动安装于所述轴安装槽(24)内。

5.根据权利要求4所述的一种用于溅射涂层的多角度旋转平台，其特征在于：所述下连接壳(22)底部一侧还开设有调节孔(27)；所述调节孔(27)设置有至少两个，且所述调节孔(27)绕所述安装块(25)周向设置；所述固定件(4)插设于所述调节孔(27)内。