[发明专利]一种渣浆处理方法

说明书

本发明的渣浆处理方法，包括以下步骤：用预分离设备分离渣浆，以形成有第一含固物料和第一液态物料；用沉降设备二次分离第一液态物料，以形成有第二含固物料和第二液态物料；用浓缩提纯设备浓缩并提纯第二液态物料，以形成有第三含固物料和氯硅烷；用浓渣收集设备收集第一含固物料、第二含固物料及第三含固物料，以形成有第四含固物料。本发明工作时能够对渣浆进行二次分离，以此提高对渣浆分离的效率，且具有减少渣浆的损耗，进而具有降低渣浆处理成本的作用。

技术领域

本发明属于多晶硅生产相关的技术领域，特别是涉及一种渣浆处理方法。

背景技术

多晶硅生产过程中不可避免地会产生渣浆，其中渣浆为氯硅烷渣浆，其主要含有硅粉、Cu、Fe、AL等固体颗粒以及四氯化硅、三氯氢硅、高沸物、金属氯化物等液态物料。其中，氯硅烷渣浆中固态物质的含量在0.5-30％之间，液态物质中四氯化硅的占比达到90％以上。

目前，针对于多晶硅生产过程中产生的渣浆的处理方法主要有以下三种：第一种是直接加热闪蒸，将渣浆中少量四氯化硅闪蒸回收后，废渣直接水解外送。第二种是采用沉降加干燥机的方法，首先将渣浆通过沉降分离，废渣进干燥机进一步干燥后水解处理，清液利用塔器回收。第三种是采用真空转鼓过滤，将渣浆中的氯硅烷通过真空转鼓过滤，滤渣水解后外排，清液直接回收。

然而，直接加热闪蒸处理渣浆的方法存在物料回收率低，且产生大量废水的缺点。沉降加干燥机的方法能一定程度处理渣浆，但沉降槽沉降时间较长，处理效率低。真空转鼓的方法由于受助滤介质的影响，处理量和处理效率也不高。为此，本发明提供一种新的处理渣浆的系统。

故此，提供一种新的渣浆处理方法，用以处理多晶硅生产过程中产生的氯硅烷渣浆就显得尤为必要。

发明内容

基于此，有必要针对现有技术中存在的技术问题，提供一种渣浆处理方法。

一种渣浆处理方法，包括以下步骤：

用预分离设备分离渣浆，以形成有第一含固物料和第一液态物料；

用沉降设备二次分离第一液态物料，以形成有第二含固物料和第二液态物料；

用浓缩提纯设备浓缩并提纯第二液态物料，以形成有第三含固物料和氯硅烷；

用浓渣收集设备收集第一含固物料、第二含固物料及第三含固物料，以形成有第四含固物料。

在本申请中，通过上述步骤的设置，具体实现对渣浆的处理，能够用预分离设备对渣浆进行预分离，再用沉降设备进行分离，以此达到对渣浆二次分离，具有提高该渣浆处理方法工作时对渣浆分离效率的作用；且用浓渣收集设备收集第一含固物料、第二含固物料及第三含固物料，以此实现该渣浆处理方法工作时的高浓度排渣，具有减少渣浆的损耗，进而具有降低渣浆处理成本的作用。

在其中一个实施例中，还包括：

用中和设备中和第四含固物料，以形成有浆态料。

可以理解，通过上述步骤的设置，使得该渣浆处理方法工作时能够用中和设备中和浓渣收集设备的第四含固物料，以此达到处理第四含固物料的目的。

在其中一个实施例中，所述浓渣收集设备上设置有加热装置，所述加热装置能够加热所述浓渣收集设备内的第四含固物料，以控制所述第四含固物料的温度为60℃～150℃，压力为0.05MPa～0.3MPa时产生气态混合物；且所述浓缩提纯设备能够接受所述气态混合物并对其进行浓缩提纯。

可以理解的是，通过上述加热装置的结构设置，使得该浓渣收集设备在收集渣浆中含固物料的过程中，能够将含固物料中掺杂的液态物料通过加热蒸发的方式排放至浓缩提纯设备中，具有进一步提高该浓渣收集设备所收集的含固物料的浓度的作用，进而具有进一步减少渣浆的损耗，减少中和设备中和过程中所产生的中和废水的作用。