[发明专利](10-13)取向六方纤锌矿结构晶体孪晶的检测方法

权利要求书

1.一种(10-13)取向六方纤锌矿结构晶体孪晶的检测方法，其特征在于包括：

以高分辨率X射线衍射仪对(10-13)取向六方纤锌矿结构晶体的(0002)面进行ω-2θ扫描，若所获检测结果中包含(10-11)衍射峰，则判定有孪晶存在，反之则判定无孪晶存在。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于包括：在定χ角条件下，通过高分辨率X射线衍射仪的ω-2θ模式对(10-13)取向六方纤锌矿结构晶体的(0002)面进行联动扫描。

3.根据权利要求1或2所述的检测方法，其特征在于包括：使带有六方纤锌矿结构晶体的[11-20]取向与X射线入射线方向平行，其中，[11-20]取向为蓝宝石衬底定位边，所述蓝宝石定位边为[0001]晶向；

将(10-13)取向的六方纤锌矿结构晶体的χ角设置为预定值，使所述(10-13)取向六方纤锌矿结构晶体的(0002)面平行于X射线入射线方向，再用高分辨率X射线衍射仪对(10-13)取向六方纤锌矿结构晶体的(0002)面进行ω-20扫描。

4.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于包括：将(10-13)取向六方纤锌矿结构晶体的χ角设置为特定值。

5.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于具体包括：以30°-50°的测试范围对六方纤锌矿晶体进行ω-2θ扫描，并记录(0002)面的衍射峰。

6.根据权利要求6所述的检测方法，其特征在于：所述(10-13)取向六方纤锌矿结构晶体的测试步长为0.01°-0.05°。

7.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于：当所述(0002)面的衍射峰包含氮化物的(0002)衍射峰和氮化物的(10-11)衍射峰时，则所述(10-13)取向六方纤锌矿结构晶体存在孪晶；当所述(0002)面的衍射峰仅包含氮化物的(0002)衍射峰时，则所述(10-13)取向六方纤锌矿结构晶体不存在孪晶。

8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于：所述氮化物的(0002)衍射峰、氮化物的(10-11)衍射峰和蓝宝石衬底的(11-20)衍射峰分别为对应晶体结构的PDF卡标准值。

9.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于：所述(10-13)取向的六方纤锌矿结构晶体的材质包括AlN、GaN、BN、InN、AlGaN、InGaN中的任意一种以及两种以上形成的合金。

10.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于：所述(10-13)取向的六方纤锌矿结构晶体的制备方法包括金属有机化学气相沉积、氢化物气相外延、分子束外延、物理气相传输、磁控溅射中的任意一种。