[发明专利]一种有效降低SC1中氨水挥发的装置及操作方法在审

专利信息
申请号: 202111192444.6 申请日: 2021-10-13
公开(公告)号: CN113844779A 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 宣丽英 申请(专利权)人: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
主分类号: B65D88/74 分类号: B65D88/74;B65D90/12;B65D88/54
代理公司: 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 代理人: 沈相权
地址: 311201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 有效 降低 sc1 氨水 挥发 装置 操作方法
【说明书】:

本发明公开一种有效降低SC1中氨水挥发的装置及操作方法,包括烘干柜和外缸体,所述外缸体固定安装在烘干柜的一侧外表面,且外缸体和烘干柜之间设有连通管,所述烘干柜的上端外表面固定安装有排气罩,所述排气罩和外缸体的侧边外表面均活动安装有推拉扣,且推拉扣的一端固定安装有移动滑框;通过散热卡环增加对内缸体的接触面,令水体在散热卡环和水冷管中循环流动,吸热后的水体通过循环管重新流入至循环水箱内,通过风机对循环水箱内的水体散热后,令其可以重新使用,利用外缸体和水冷管的设置,可以有效降低该装置中SC1液体的温度,使得SC1液体中的氨水保持常温状态,避免其出现加速挥发现象,延长其保存时间。

技术领域

本发明属于氨水储存技术领域,更具体的是一种有效降低SC1中氨水挥发的装置。

背景技术

常用的集成电路板清洗液有SC1和SC2两种规格,SC1清洗液由氨水、双氧水和水构成,而SC2清洗液则由盐酸、双氧水和水构成,两种清洗液均是对集成电路板起到清洗作用。

专利号CN109625669A的发明专利公开了一种氨水储存装置,属于氨水储存领域。所述氨水储存装置包括:氨水储罐,通过第一管道与氨水储罐顶部连通的氨雾吸收器;氨水储罐的顶部、底部分别设置有进液口、出液口,进液口上设置有第一开关阀门,出液口上设置有第二开关阀门;第一管道上设置有第三开关阀门;该氨水储存装置还包括:通过第二管道与氨水储罐顶部连通的气体增压罐,气体增压罐用于使氨水储罐内的气体压力大于大气压;第二管道上设置有第四开关阀门。

现有的有SC1液体在储存操作时存在一定的弊端,SC1液体本身由氨水、双氧水和水构成,而氨水易挥发出氨气,氨水随温度升高和放置时间延长而挥发率增加,且随浓度的增大挥发量增加,因此常规储存方式容易使得SC1液体中的氨水挥发,从而降低了SC1液体的使用效果;其次传统装置不具有多重保护结构,使得其无法很好地储存SC1液体,且在SC1液体排料过程中,容易出现残余现象,残余的SC1液体会蒸发产生氨气,具有一定的安全隐患;同时传统装置的密封效果较差,使得其所储存的SC1液体容易挥发现象,给使用者带来一定的不利影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种有效降低SC1中氨水挥发的装置及操作方法,可以解决现有的问题。

本发明解决的问题是:

1、SC1液体本身由氨水、双氧水和水构成,而氨水易挥发出氨气,常规储存方式容易使得SC1液体中的氨水挥发,从而降低了SC1液体的使用效果;

2、传统装置不具有多重保护结构,使得其无法很好地储存SC1液体,且在SC1液体排料过程中,容易出现残余现象,残余的SC1液体会蒸发产生氨气,具有一定的安全隐患;

3、传统装置的密封效果较差,使得其所储存的SC1液体容易挥发现象。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现:

一种有效降低SC1中氨水挥发的装置,包括平衡板和外缸体,所述外缸体固定安装在平衡板的上部,且外缸体和平衡板之间通过三组立板对接固定,所述外缸体的内部固定安装有内缸体,且内缸体的内部安装有用来对SC1液体进行降温操作的冷却管,所述平衡板的底部设置有固定底板,且平衡板和固定底板之间设置有四组液压杆,所述内缸体的一端下部位置安装有排料管,外缸体和内缸体之间设有水冷管。

作为本发明的进一步技术方案,所述外缸体的一端外表面固定安装有第二卡盘,外缸体的另一端外表面固定安装有第一卡盘,利用第一卡盘和第二卡盘的设置,对外缸体的两端起到密封固定作用,同时方便外缸体和内缸体之间进行安装操作,利用外缸体和内缸体形成双层隔热结构,可以有效降低氨水的挥发速度。

作为本发明的进一步技术方案,所述第二卡盘的一侧设有连通管,且连通管的下端安装有循环水箱,所述水冷管的一端和连通管之间通过分管对接,利用循环水箱可以将水体通过连通管配合分管导入至水冷管,利用水冷管中流动的水体,对外缸体和内缸体之间起到散热作用。

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